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EUV设备

EUV设备资讯

7nm大战在即 买不到EUV光刻机的大陆厂商怎么办?

基于三星10nm制程工艺的骁龙835早已随着三星S8、小米6等一众手机面世,而基于台积电10nm制程工艺的联发科Helio X30也和魅族Pro 7系列手机一起亮相了。除此之外麒麟970及A11...

分类:业界动态 时间:2017/8/24 阅读:178 关键词:7nm EUV设备 半导体制造 

Canon首款EUV设备业已出货 最小线宽达24nm

SPIE先进光刻会议上传来消息,日本Canon开发的深紫外光刻设备已经发货,用于研发而非生产。Canon公司的SFET设备(small-fieldexposuretool)数值孔径0.3,视场尺寸0.2-x0.6-mm。据日本芯片研发联盟Selet

分类:行业趋势 时间:2008/2/28 阅读:730