您好,欢迎来到捷配电子市场网 登录 | 免费注册

FormFactor将MEMS探针卡应用于多值NAND闪存

类别:业界要闻  出处:日经BP社  发布于:2009-11-05 | 1046 次阅读

    美国FormFactor已将该公司300mm晶圆检查用MEMS探针卡应用于NAND型闪存.由于存在装置成本和交货期等问题,迄今一直难以应用于闪存,而主要用于DRAM检查.

    此次,该公司新开发出了适用于32nm以后微细工艺多值产品的MEMS探针卡.NAND型闪存的数据识别采用电荷量,读取电荷量作为单元晶体管阈值电压的变化.随着NAND型闪存微细化,电荷量减少,并且8~16值等多值产品中进行区别的电荷量的空白减小.在检查这种小空白(Margin)时,探测时的接触电阻存在误差,难以进行准确测量.而使用该公司此次研制的MEMS探针时,接触电阻误差要比现有探针小.基于金属悬臂梁的MEMS探针,其尖端接触焊点时,会将布线上焊点(Al)上的绝缘膜(Al2O3)向水平方向拉动.这样便可在保持低接触电阻的前提下进行稳定探测.为减小检查时的空白,降低了作为不良处理的合格品的比例.

    鉴于以上特性,MEMS探针可以说从原理上适用于微细多值闪存,但客户对成本和交货期的要求却越来越严格.该公司此次开发的产品是设计与DRAM使用的MEMS探针卡大不相同的闪存专用品.降低了探针本身的成本,同时降低了客户的投资成本,能够支持引脚少的测试器.另外,为缩短交货期,与该公司的客户之间制定了探针芯片等的规格标准.因此,在量产大容量产品和微细产品时,该公司便可重新利用上代使用的探针的设计资产.

    该产品采用了根据温度变化补偿探针弯曲的结构.因此,能够实现在晶圆内的任何位置都稳定的接触.此次推出的MEMS探针是该公司与一家存储器厂商率先开发的,已应用于量产线.

关键词:MEMS NAND 

全年征稿 / 资讯合作

稿件以电子文档的形式交稿,欢迎大家砸稿过来哦!

联系邮箱:3342987809@qq.com

版权与免责声明

凡本网注明“出处:捷配电子市场网”的所有作品,版权均属于捷配电子市场网,转载请必须注明捷配电子市场网,http://www.dzsc.com,违反者本网将追究相关法律责任。

本网转载并注明自其它出处的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品出处,并自负版权等法律责任。

如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。

热点排行