MV-BE20A
韩国
企业名:深圳市新天地自动化设备有限公司
类型:经销商
电话:
0755-29195552
23339939
手机:13538046665
13714376665
联系人:陈小姐/刘先生
邮箱:471884620@qq.com
地址:广东深圳深圳市龙华新区民治街道向南四区松花大厦721
∟ 其他场效应管模块(2)
型号 |
显微系统 |
VK-X260K |
VK-X160K |
VK-X130K |
||
控制器 |
VK-X250K |
VK-X150K |
VK-X120K |
|||
综合倍率 |
28000 倍以下*1 |
19200 倍以下*1 |
||||
视野 (观察范围) |
11 μm 至 5400 μm |
16 μm 至 5400 μm |
||||
帧频率 |
激光测量速度 |
4 至120 Hz、7900 Hz*2 |
||||
测量原理 |
光学系统 |
针孔共聚焦光学系统 |
||||
光接收元件 |
光电倍增器、16 bit 感应 |
|||||
扫描方式 (常规测量时及图像连接时) |
自动上下限设置功能 高速光量化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足补充功能(双扫描) |
|||||
高度测量 |
显示分辨率 |
0.5 nm |
5 nm |
|||
线性标尺 |
||||||
动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度) |
16 bit |
|||||
重复精度σ |
20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm*3 |
20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3 |
||||
Z轴测量用内存 |
1400 万步骤 |
140 万步骤 |
||||
准确性 |
0.2+L/100μm或更小(L=测量长度)*4 |
|||||
Z 载物台结构 |
结构 |
测量头分离结构 |
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样品高度 |
28 mm, 128 mm (可选件) |
|||||
宽度测量 |
显示分辨率 |
1 nm |
10 nm |
|||
重复精度3σ |
20 倍 100 nm、50 倍 40 nm、150 倍 20 nm*3 |
20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3 |
||||
XY 载物台结构 |
手动 运行范围 |
70 mm×70 mm |
||||
电动 运行范围 |
50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*5 |
|||||
观察 |
观察图像 |
超高精细彩色CCD 图像 |
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拍摄分析率 |
3072×2304 |
|||||
测量用激光光源 |
波长 |
紫激光 408 nm |
红色半导体激光 658 nm |
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输出 |
0.95 mW |
|||||
激光产品 |
2 类激光产品 (GB7247.1) |
|||||
重量 |
显微系统 |
约26 kg(分离时测量头单体: 约10 kg) |
约25 kg(分离时测量头单体: 约8.5 kg) |
|||
控制器 |
约 11 kg |
|||||
*1 23 英寸显示器记载。 |
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