ZED51纳米级差动电涡流传感器的主要特点：

　　每通道两个匹配的传感器使分辨率达到1nm；

　　超耐热，长时间稳定：1.27x10-4mm/月或更好；有耐低温传感器；

　　非常高的灵敏度，到394 mV/?m；

　　低功耗：小于2W(±15 Vdc典型情况下)。

　　应用领域

　　差动测量：

　　两个匹配的传感器被放置在被测物平台两侧，这两个传感器组成了平衡桥电路相反的两端，这个结构提供了极好的线性和热稳定性，所以其输出准确地记录了线性的微小移动。如激光反射镜聚焦平台定位。

　　低温应用：

　　20N传感器有一个专门的低温应用版本，它有一个内部伸缩接头，当用螺丝安装一个贝勒维尔垫圈后，可有效消除压力或温度引起的机械变性。已证明其在70°K的液态氮中有异的性能。好几个空间项目在4°K的液态氦环境中使用了此传感器。

　　真空应用：

　　传感器和ZED51的电子器件都已用在10-6托的真空应用中了。

　　超高精度宇航应用：

　　已制造出MIL-H-38534。所有电子器件均采用符合MIL-SPEC标准的。KD-5100在战斗环境下超过55,000小时，太空飞行环境下超过238,000小时。

　　小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) ，可应用于空间狭小的场合。

　　商业差动：

　　ZED52差分系统就是ZED51的一个商业版本。此系统大大减小了微分系统的成本，又保持了性能优势。在重量、大小和能耗没有特殊限定的情况下，这些差动系统是。

　　中继镜片激光定位（RME）：

　　RME演示了一束从地球发射到450公里轨道上人造卫星的激光可以被地反射到直径3米的目标地面。

　　ZED51被用于定位60cm的中继镜片，其精度高于试验目标的16倍，视线稳定度高2.3倍。

　　半导体圆晶片制造中的超高激光聚焦：

　　激光微注技术被用于开发半导体圆晶片制造中的"直接写入"应用和高吞吐量模板图案应用，而且还被融合进0.1微米工艺的产品中。ZED51就被应用到此技术中，控制激光的位置，完成超高位置、关键尺寸和对齐控制。

　　其它应用：望远镜定位、磁悬浮轴定位。

　　真尚有科技依托集团优势，致力于引进国外测量技术；是基于进口高端传感器，以软测量技术、RFID技术、无线传感器网络技术及相关中间件软件平台为发展方向，集研究、开发、销售、培训、系统集成、技术支持、售后服务为一体的高科技产业公司。真尚有科技所处的自动化测试测量领域前景十分广阔，直接服务于国内高端制造业。国内制造业的整体升级，需要大量高精度、高度自动化、高可靠性的测试测量设备、传感器，给我们带来了庞大的市场，和众多的发展机遇。真尚有科技在精密制造业、铁路测量、公路测量、设备监控、高校教学、研究等领域有着大量优质客户，市场广阔，潜力巨大。

　　真尚有科技还是深圳市政府认定的软件企业，拥有自主知识产权，公司将自己的核心软件技术服务于测量领域，成功应用国外各种高端测量设备及传感器，为客户解决多种实际的测量难题。我们自主研发的基于通用硬件平台的软测量体系之测厚系统ZTMS08已通过计量机构的权威，精度达1um，广泛应用于各种工业在线测厚领域。

企业名：深圳市真尚有科技有限公司

类型：

电话： 0755-26528100

联系人：江山

QQ：

邮箱：sales@51sensors.com

地址：广东深圳深圳市南山区南山大道1110号中油大厦2205~2210