射频RF电源 GHW12Z-13DF2N0-005
mks
24V
49830.0
企业名:上海闻企电子科技有限公司
类型:经销商
电话: 02151035787
手机:13764678882
联系人:钱先生/纪小姐/江先生/王小姐
邮箱:isd99@163.com
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∟ 逻辑IC(1)
GHW系列高频射频电源为MKS目前的射频主流产品。他的标准输出频率为13.56MHZ,输出功率包括1250W,2500W,5000W。
目前主要应用包括:等离子清洗,PECVD,HDPCVD,刻蚀以及真空镀膜等,主要应用领域包括半导体,平板显示,LED,太阳能电池等领域。
GHW系列射频电源的特点:
1. 电源频率稳定性:13.56MHZ±0.005%;
2. 精度:全功率范围的±1.5%;
3. 自动失谐保护;
4. 不限的阻抗调谐范围;
5. 高清数字显示;
6. 易于集成,体积小;
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