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MKS射频RF电源 GHW12Z-13DF2N0-005 040035272

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金牌会员 第 7
  • 企业名:上海闻企电子科技有限公司

    类型:经销商

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产品分类
商品信息

GHW系列高频射频电源为MKS目前的射频主流产品。他的标准输出频率为13.56MHZ,输出功率包括1250W,2500W,5000W。

目前主要应用包括:等离子清洗,PECVD,HDPCVD,刻蚀以及真空镀膜等,主要应用领域包括半导体,平板显示,LED,太阳能电池等领域。

 

GHW系列射频电源的特点:

1. 电源频率稳定性:13.56MHZ±0.005%;

2. 精度:全功率范围的±1.5%;

3. 自动失谐保护;

4. 不限的阻抗调谐范围;

5. 高清数字显示;

6. 易于集成,体积小;

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