运用激光位移传感器测量镜面和玻璃表面

 

随着部分行业工艺制造水平的不断提升，玻璃和镜面装置已经得到十分广泛的应用，特别是在一些高精尖行业，玻璃制品和镜面装置的成样直接代表整个产品的工艺水平。例如电镀工艺中，特别是对于微电子工业中各种功能薄膜的制备来说，明确要求基片表面达到镜面平整，否则容易损害功能薄膜的连续性。所以对玻璃制品和镜面装置表面情况的检测一直是行业内令人关注的问题，如何做到在不损伤表面的情况下，科学的进行表面检测是关键。真尚有公司ZLDS10X激光位移传感器系列能做到。

应用设备：ZLDS100-4-39型号激光位移传感器。

 

应用操作：

ZLDS100-4-39型号激光位移传感器用于镜面和玻璃的表面测量，量程为4mm，起始距离39mm，精度+/-0.2%（8um），分辨率0.03%（0.12um），采样频率10KHz，极大的方便了用户对玻璃或镜面平整度的检测，及玻璃的位移、厚度、形变、振动等都有有效的测量。ZLDS100-4-39激光位移传感器与被测物成的夹角，达到一个全反射的效果，有效的接收被测物返回的光信号。安装非常简单方便，我们还提供一个直角夹板，直接解决了客户安装上的问题，方便客户。

ZLDS113激光传感器测量半导体平整度

 

半导体芯片是指在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件。半导体芯片不只是硅芯片，常见的还包括砷化镓，锗等半导体材料。半导体芯片的发明是二十世纪的一项创举，它开创了信息时代的先河。现在“因特网”和“计算机”等已经成为全世界众所周知的词语。而计算机芯片作为计算机的心脏更是为人所熟知，其实无论是“Intel”还是“AMD”芯片，它们在本质上一样，都属于半导体芯片。

 

半导体芯片

那么作为一个应用这么广泛的产品，其质量控制自然是重中之重，所以半导体芯片的精密测量，也就更加重要和更加广阔的应用，本文将着重对如何利用ZLDS113激光传感器科学检测半导体芯片的平整度作出分析。

 

应用方案

如上图所示，半导体芯片一般都是在生产线上流水线作业，所以将ZLDS113激光传感器安装在固定支架上，实时测量，不合格产品及时剔除。还可以安装多台ZLDS113激光传感器，同步测量，多点扫描平整度。

 

ZLDS113激光传感器主要特点：

◆分辨率可达1um，线性度3um；

◆测厚系统：2个传感器成对安装，能自动主从识别，构成在线测厚仪，进行在线厚度、宽度等实时测量,无需控制器；

◆实时可编程功能：数值计算、数字传输速度、模拟设置、滤波器等；

◆可测500℃~2200℃高温物体，进行厚度、宽度、长度、高度、直径、轮廓的精密测量，是冶金行业必备的精密测量仪。

企业名：深圳市真尚有科技有限公司

类型：

电话： 0755-26528100

手机：18145802139

联系人：江山

QQ：

邮箱：sales@51sensors.com

地址：广东深圳南山区南山大道中国石油大厦