●技术规格  ●安装尺寸

ZSY/OSM-Z-100B使用ZSY的双传感器技术在显微镜的物镜聚焦行业，拥有业界领先的动态性能和精度。ZSY/OSM提供埃米级的定位精度、超过100微米的总行程和小于4ms的阶跃稳定时间。 

  我们拥有的非接触式位移测量系统——纳米传感器保证了产品在纳米层级上拥有出色的分辨率，重复性和稳定性。低离轴误差和极高刚度的先进设计进一步提高了产品性能。包括支持双传感器技术的DSC-A-1110DST模拟控制器在内的一系列模拟和数字控制器都可用于驱动ZSY/OSM-Z-100B。

概述

  ZSY/OSM系列在显微镜的物镜聚焦装置领域内代表了的性能。 ZSY/OSM系统用于显微镜转台和目标之间的定位，可以为定位和扫描提供埃米级的分辨率。 
  ZSY/OSM-Z-100B使用ZSY的双传感器技术，在显微镜物镜聚焦领域实现了业界领先的动态性能和精度。 

应用领域

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表面结构分析； 

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自动对焦系统； 

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共焦显微镜； 

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扫描干涉仪； 

推荐控制器

DSC-A-1110DS模拟控制器

主要特点

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高于行业标准3倍速度：<4ms的阶跃稳定时间和100μm的闭环位移控制；600Hz的响应频率；20N/μm的刚度 

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装备双传感器技术：在不同的负载下无需重新校准；优越的机械带宽；

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卓越的ZSY纳米传感器定位性能：0.1nm的定位噪音；0.01%的线性度；0.005%的剩余磁滞；

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免工具安装适配器；

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超级不胀钢结构设计获得极高的聚焦稳定性；