电容位移传感器ZNXsensor介绍

     无论是生物工程中的细胞操作、集成电路或光电子器件的加工,还是采用电子显微镜进行纳米操作,尽管其精度要求各不相同,但在硬件装备中均有一项共性的关键技术,那就是要解决载物台或其相应设备的高精度的自动测量和定位。要实现这项关键技术,高精度控制系统是非常重要的。搭建了一种闭环控制系统,用于控制某特性显微镜工作台。传感器的使用是闭环控制中必不可少的一环，传感器的精度决定着系统的精度。而电容位移传感器是迄今为止精度的。

 

下面我将为大家介绍两款电容传感器：

   ZCS1100型精密电容位移传感器（单通道电容传感器）：

本传感器采用电容式测量方法，可以在线检测压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。该传感器是一个单一的通道，高性能线性位移测量系统，创新的电容位移测量技术，提供了纳米测量能力，成本低，适合测量任何导电目标。

 

   ZNXsensor型超精密电容位移传感器（双通道电容传感器）：

本传感器一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不用的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。ZNXsensor电容位移传感器应用领域主要为：压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。

ZNXsensor电容位移传感器 电子显微镜应用 电容传感器

   

对于缓慢变化或微小量的测量，一般来说采用电容位移传感器进行检测比较适宜，主要是这类传感器具有以下突出优点：

1、测量范围大   其相对变化率可超过100%；

2、灵敏度高   如用比率变压器电桥测量，相对变化量可达10-7数量级；

3、动态响应快   因其可动质量小，固有频率高，高频特性既适宜动态测量，也可静态测量；

4、稳定性好    由于电容器极板多为金属材料，极板间衬物多为无机材料，因此可以在高温、低温强磁场、强辐射下长期工作，尤其是解决高温高压环境下的检测难题。

 

本文将要说到的电子显微镜应用就需要电容位移传感器的支持（原因：采用电子显微镜进行纳米操作,在硬件装备中有一项关键技术,那就是要解决载物台或其相应设备的高精度的自动测量和定位。）

 

应用方案说明：显微镜移动台在移动停止后会有一定的反弹，平台移动总的的位移量有几毫米，但反弹量很微小，但反弹量决定了平台的移动精度。可以使用电涡流传感器测量平台的较大范围的移动，使用ZNXsensor电容位移传感器测量反弹的微小位移。

   

    深圳市真尚有科技有限公司的ZNXsensor型超精密电容位移传感器（双通道电容传感器），这是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不用的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。

   其主要特点有：

量程20～1250μm；

分辨率<0.1nm；零磁滞；

线性0.02%；

频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调；

真空兼容选项；

 

 

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