非接触式探头高分辨率微距传感器——电容传感器

ZCAS41介绍

ZCAS41（图1）是一款使用电子感应技术的非接触式电容传感器，多种探头可选，直径0.5-10mm，测量范围±10μm-±1000μm，分辨率0.025％F.S，带宽标准1kHz，90-240VAC电源电压，标准3m连接线线长。

图1： ZCAS41电容传感器

它的工作原理是电容传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测物理量或机械量转换成为电容量变化的一种转换装置，实际上就是一个具有可变参数的电容器。

     ZCAS41有3大特点  非接触式导体测量 完全非接触式电容式微位移测量，准确的电子感应技术, 测量过程不会损坏样品，可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响 。

探头可选测量范围广 具有探头优化的近距离测量—测量距离在10微米到1毫米之间可以进行选择 ，探头尺寸在0.5-10mm直径之间进行选择，标准配备3m连接线线长，保证探头与控制器可以分开放置，满足探头深入小空间内进行微距测量。高分辨率 拥有高分辨率，分辨率通常优于20 PPM的满量程范围@ 1kHz，可达到优于1 PPM的分辨率，即是分辨率0.025％F.S，满足微距测量下的高分辨率要求。

   主要应用：

定位测量系统应用  远程位置调节器的伺服反馈系统应用

间距和位移测量应用    空间测量及检测/轴向位移测量

转动测量系统应用  马达精度和转轴转动测量/转轴测量计精度校准测量/直线和平面平台精度测量 厚度测量系统应用  磁性介质厚度测量/光盘厚度测量

自动聚焦和归零测量应用   半导体硅片测量

振动测量系统应用   样品台精度振动测量/转轴振动精度测量/主动性防震系统反馈测量

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