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企业名：北京特博万德科技有限公司
类型：经销商
电话： 010-87700693
手机：13810504825
联系人：李先生
QQ： 
邮箱：sales@topvendor.com.cn
地址：北京北京市朝阳区建国东路15号北岸1292大厦B座1102
北京特博万德科技有限公司长期供应高精度半自动光刻机，
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能力 |
数值 |
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X, Y方向运动距离，精度 |
+/-6mm； |
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Z方向精度 |
+/-0.5微米 |
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Theta; 精度 |
+/-3°；0.001° |
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光罩旋转 |
+/-15° |
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控制方式 |
软件控制，多种工艺参数可自行设定 |
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卡盘移动控制 |
电子杆 |
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光刻模式 |
靠近、软接、硬接和真空接触 |
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预对准能力 |
X,Y方向+/-25微米；Theta 0.5° |
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精对准能力 |
小于1微米 |
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光罩尺寸 |
14”×14” |
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适用的样品尺寸 |
50 ～ 300mm |
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光源选择 |
近紫外，中紫外和深紫外 |
企业名：北京特博万德科技有限公司
类型：经销商
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