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SEC-E40 系列

•  适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
•  适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。
•  低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3/E50MK3
 技术规格
型号 SEC-E40/E40MK3 E50/E50MK3 (质量流量控制器) 
 SEF-E40 E50 (质量流量计) 
适用气体种类*1 非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质 SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号 非通电时　关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.) 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM 20/30 SLM
流量控制范围
(适于SEC系列) 2〜100% F.S.
流量测量范围
(适于SEF系列) 0〜100% F.S.
响应速度 1秒以内(T98)
流量精度 ±1% F.S.
直线性 ±0.5% F.S.
反复性 ±0.2% F.S.
工作差压值值
(适于SEC系列) 10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d)　10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
使用压力
(适于SEF系列) 300kPa(G)以下

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