1 PSI-DI-4V-MINI
ALL sensors
1PSI
差压
1%
干燥洁净气体
企业名:深圳盛思瑞创科技有限公司
类型:贸易/代理/分销
电话: 13661102955
手机:13661102955
联系人:金先生
邮箱:2355647911@qq.com
地址:广东深圳深圳市龙岗区布龙路529号金民安商务楼13D
从70年代末到80年代起,集成电路大规模向超大规模方向发展,计算机的容量不断扩充,应用越来越广泛。为了适应这种情况,对各类敏感器件、传感器、执行器的需求越来越大。为了寻求低成本、大批量生产高性能,更小型化的穿昂起,于是将硅片的腐蚀工艺与集成电路工艺结合起来,产生了硅的微机械加工,从而吧单纯的腐蚀工艺提高为一种崭新的加工制造技术。主要包括在硅晶体中或表面制造出各种微细圆孔、方孔、锥孔、沟槽、台阶、锥体、薄膜、悬臂梁、微桥、小岛等几何结构。目前硅及其他材料的微机械加工正方兴未艾,得到蓬勃的发展。许多奇妙的压力传感器和执行器都是利用它制备出来的。例如加速度传感器中的悬臂梁和悬膜、微型压力传感器中的方膜、长方膜正是利用各向异性腐蚀得到的。
利用微机械加工技术得到的执行器更是种类繁多。例如可以制备出:1.微型泵。可为计算机打印设备提供微型喷墨嘴;2.硅片贮墨水槽;3.转子尺寸仅为50um的微型电机;4.微型静电开关;5.触觉传感器;6.集成光栅排列;7.尺寸仅为3mm*4mm*0.8mm的扬声器;8.直径仅为400um的齿轮;9.更为新奇是利用集成电路工艺技术已制备出蚂蚁大小的微型机器人。它还能行走和推动齿轮传动。进入90年代后,不仅利用微机械加工技术制备出常规法无法想象的上述这些执行器,而且已将计算机模拟技术应用于腐蚀过程,可利用模拟结果设计出各种行走掩膜,从而嗒嗒减少实验摸索,迅速得到所需的腐蚀结构。
A6AAF
E1NS
E1ND
E1NJ
E2NS
E2ND
E2NJ
EGNS
EGNJ
EGNL
E1BS
E1BD
E2BS
E2BD
EGBS
EGBD
EGBJ
EGBL
企业名:深圳盛思瑞创科技有限公司
类型:贸易/代理/分销
电话: 13661102955
手机:13661102955
联系人:金先生
邮箱:2355647911@qq.com
地址:广东深圳深圳市龙岗区布龙路529号金民安商务楼13D
友情链接: 深圳市元东发电子有限公司