概述

  AWM90000 系列气体质量流量传感器，非放大式 (mV)，   流量/压力范围：±200 sccm;  parallel port style.

AWM90000系列气体质量流量传感器采用久经时间验证的热桥技术。AWM90000 系列不仅能够提供 AWM1000

系列的许多优良性能，而且传感器采用的平台更加经济实惠。有质量流量和差压两种版本可供选择。The AWM92100V has a flowrange of +/- 200 sccm and the AWM92200V is a +/- 2.0 inch H2O differential pressure version.这些传感器具有 1 ms 的快速响应时间，其电源电压为 8.0 Vdc 至 15.0 Vdc，而功耗仅为 50 mV。AWM90000 系列让客户能够自定义传感器功能，满足客户各种应用需求。

               产品损伤

AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量，液体流过传感器时会损坏传感器。

不遵守这些说明可能会导致产品受损。              

       技术规格

               系列名称

               AWM90000

               流量/压力范围

               ±200 sccm

               传感器电流

                0.6 mA

               输出温漂

               -3% FSO typ. (-25°C to 25°C [-13°F to 77°F]);

±1% FSO typ. (25°C to 85 &°C [77°F to 185°F])

               零位

               ±15.0 mV dc

               信号调节

               非放大式 (mV)

               调整点的输出电压

               200 sccm 时，77.0 mV dc

               整个温度范围内的零位

               ±2.0 mV dc typ. (-25°C to 25°C [-13°F to 77°F]);

±2.0 mV dc typ. (25°C to 85°C [77°F to 185°F])

               可重复性

               ±0.35 % FSO

               响应时间

               典型值 1 ms，值 3 ms

±200sccm气体质量流量传感器AWM92100V

±200sccm气体质量流量传感器AWM92100V

±200sccm气体质量流量传感器AWM92100V

±200sccm气体质量流量传感器AWM92100V

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