MEMS硅电容式原理 双轴集成
角速率、温度信号输出 2000g抗过载
SPI或CAN接口（可按需定制） 结构紧凑、可靠性高
典型应用
惯性导航：惯性制导、组合导航、平台稳定
短期导航：飞行控制、弹道修正、遥测遥控
姿态控制：无人机、天线定向、寻北仪
汽车领域：电子稳定程序（ESP）、平衡测量
输出形式：SPI/CAN
封装形式：金属封装
工作温度：-40℃~85℃
量程：X轴±300°；Y轴±300°；
零偏重复性：10°/h
带宽：80Hz
英国Senstronics（胜思特）公司成功的将半导体生产工艺用于大批量生产压力传感器、压力变送器、溅射薄膜压力传感器、溅射薄膜式压力敏感元件等。它使用当前国际上的自动化设备，在10级超净间内进行敏感元件的溅射、光刻、调阻等各步工艺，为全球大量提供了高性能的压力敏感元件、传感器和变送器，现已广泛应用于汽车制造、航空、航天、交通、工程机械、水利电力、船舶制造、石油化工、发电机组、冶金制造、医疗设备、食品加工等行业及其他各种自控和测量行业。
英国Senstronics（胜思特）公司系列产品使用17-4PH不锈钢材料，其量程从5bar(0.5Mpa)到2200bar(220Mpa)，产品能经受106次的连续压力周期而保持性能稳定。使用薄膜压力的敏感元件制成的产品，在温度环境下的精度优于0.005%/℃；压力传感器系列和压力变送器系列产品在设计上考虑到满足严格的电磁兼容条件，全部按照EN61000-2和EN61000-3标准，经受至少100v/m的电磁考验。专用的ASIC电路给于特别的设计，以限度发挥薄膜传感技术的潜能来满足不同用户的使用要求，并能提供0-5v；0-10v；0.5-4.5v;4-20mA的一路或两路（两路压力输出或压力和温度）模拟输出。
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M12
接线柱 电压输出 电流输出
4—20mA
1 电源（+） 电源（+）
2 输出1 不接
3 电源（-） 返回端
4 输出2（温度测量） 不接
说明：
防护等级：ＩＰ６７
结构材料：外壳：不锈钢、 连接体：ＰＢＴ（白色）、电接点：镀金、 推荐配套连接件 Senstronics公司 分类编号 ＰＳＡ－ＣＢＬＡ００
连线：１―红色，２―绿色，３－兰色，４－黄色
变送器技术参数：
参数 ：压力变送器 备注（）
量程（bar）：5~2200 （参见传感器部分）
供电电源（恒压;VDC）：8~30
5 （仅输出为0.5~4.5V，0.25~4.75V两种）
输出信号 ：0—5V；0—10V；1—6V；0.5—4.5V；4—20mA
允许过压 ：2倍满量程（卸除过压压力后，各项性能不变破坏压力10倍满量程压力）
精度 ：0.1%FS; 0.2%FS; 0.5%FS;（可选）
工作温度 ：电压输出模式-40℃~140℃（指测试环境温度范围，无需冷凝）
电流输出模式-40℃~125℃（指测试环境温度范围，无需冷凝）
稳定性 ：小于0.1%FS/年
温度漂移 ：小于+0.01%FS℃
频率响应 ：大于2KHZ
防护等级 ：IP67 （与所选电器连接部件有关）
带负载能力：0~1000Ω {R=50x(u-12)(Ω)}
被测介质：与17-4PH不锈钢兼容的液体，气体（优于316不锈钢）
磁场影响：强度在400A/m以下的50HZ交流或直流磁场，作用于变送器任意轴向上，引起的输出误差可忽略。
RFI影响：频率为10KHZ~100MHZ，强度为30V/m（非屏蔽电缆10V/m）以下的射频干扰，作用于变送器任意轴向上，引起的输出误差小于校正量程的+0.1%
振动影响：振动频率20~2000HZ，振幅2mm，加速度6g,在x,y,z任意轴向上，每向振动3min零点输出变化为量程的+0.1%
输出阻抗：68+10% Ω
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1． 编码ABV
 
DIN 43650 （9.4mm）(3柱+接地)
接线柱 ： 电压输出 电流输出
4—20mA
1 输出1 不接
2 电源（+） 电源（+）
3 输出2（温度测量） 不接
电源（-） 返回端
说明：
防护等级： IP65
结构材料：外壳：不锈钢 ；连接体：PBT（黑色）； 电接点：镀锡；
推荐配套连接件：Hirschmann公司ＧＤＳ３０７（3接线柱+ ）
分类号：933024-100
变送器技术参数：
参数 ：压力变送器 备注（）
量程（bar）：5~2200 （参见传感器部分）
供电电源（恒压;VDC）：8~30
5 （仅输出为0.5~4.5V，0.25~4.75V两种）
输出信号 ：0—5V；0—10V；1—6V；0.5—4.5V；4—20mA
允许过压 ：2倍满量程（卸除过压压力后，各项性能不变破坏压力10倍满量程压力）
精度 ：0.1%FS; 0.2%FS; 0.5%FS;（可选）
工作温度 ：电压输出模式-40℃~140℃（指测试环境温度范围，无需冷凝）
电流输出模式-40℃~125℃（指测试环境温度范围，无需冷凝）
稳定性 ：小于0.1%FS/年
温度漂移 ：小于+0.01%FS℃
频率响应 ：大于2KHZ
防护等级 ：IP67 （与所选电器连接部件有关）
带负载能力：0~1000Ω {R=50x(u-12)(Ω)}
被测介质：与17-4PH不锈钢兼容的液体，气体（优于316不锈钢）
磁场影响：强度在400A/m以下的50HZ交流或直流磁场，作用于变送器任意轴向上，引起的输出误差可忽略。
RFI影响：频率为10KHZ~100MHZ，强度为30V/m（非屏蔽电缆10V/m）以下的射频干扰，作用于变送器任意轴向上，引起的输出误差小于校正量程的+0.1%
振动影响：振动频率20~2000HZ，振幅2mm，加速度6g,在x,y,z任意轴向上，每向振动3min零点输出变化为量程的+0.1%
输出阻抗：68+10% Ω
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AMP
接线柱 电压输出 电流输出
4—20mA
1 输出１（电压） 不接
2 电源（—） 返回端
3 电源（+） 电源（+）
说明：防护等级：IP67
结构材料： 焊接环 ：不锈钢 连接体：PBT 电接点：镀锡
推荐配套连接部件：AMP 282087-1 外壳 183025-1 3触点
281934-3 3芯线 880811-2 防护套
变送器技术参数：
参数 ：压力变送器 备注（）
量程（bar）：5~2200 （参见传感器部分）
供电电源（恒压;VDC）：8~30
5 （仅输出为0.5~4.5V，0.25~4.75V两种）
输出信号 ：0—5V；0—10V；1—6V；0.5—4.5V；4—20mA
允许过压 ：2倍满量程（卸除过压压力后，各项性能不变破坏压力10倍满量程压力）
精度 ：0.1%FS; 0.2%FS; 0.5%FS;（可选）
工作温度 ：电压输出模式-40℃~140℃（指测试环境温度范围，无需冷凝）
电流输出模式-40℃~125℃（指测试环境温度范围，无需冷凝）
稳定性 ：小于0.1%FS/年
温度漂移 ：小于+0.01%FS℃
频率响应 ：大于2KHZ
防护等级 ：IP67 （与所选电器连接部件有关）
带负载能力：0~1000Ω {R=50x(u-12)(Ω)}
被测介质：与17-4PH不锈钢兼容的液体，气体（优于316不锈钢）
磁场影响：强度在400A/m以下的50HZ交流或直流磁场，作用于变送器任意轴向上，引起的输出误差可忽略。
RFI影响：频率为10KHZ~100MHZ，强度为30V/m（非屏蔽电缆10V/m）以下的射频干扰，作用于变送器任意轴向上，引起的输出误差小于校正量程的+0.1%
振动影响：振动频率20~2000HZ，振幅2mm，加速度6g,在x,y,z任意轴向上，每向振动3min零点输出变化为量程的+0.1%
输出阻抗：68+10% Ω
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应用范围
该压力变送器经过精密的温度补偿、全不锈钢结构和完善的装配工艺，使产品具有高精度、高抗干扰、过载和冲击能力强、防潮性和长期稳定性好等特点。备有多种介质接口供客户选配，可以测量气体、液体的绝压、表压、差压，广泛运用于冶金、航空、航天、石化、等自动控制领域。
25°C 的性能
精度：± 0.5%, ± 0.25% FS（精度包括:非线性、迟滞和重复性）
稳定性(一年)：± 0.2% FS
压力限制：2 倍标称压力
破坏压力：10 倍标称压力
压力循环：> 100 万满压循环
环境因数
温度
工作/贮存温度：-20 ～ 85°C
温补资料
温度补偿：0 ～85°C
补偿后零点误差：< +/- 0.2% FS
补偿后满量程误差：< +/- 0.2% FS
其它
冲击：20G , 11msec , 1/2 sine
震动：10G peak , 20 到 2400 Hz
防护等级： IP - 65;66;67
电路参数
供电电源：9-36VDC
输出信号：三线制 0 - 5V, 1 - 5V, 0 - 10V , 二线制4 - 20mA
零点偏差：< +/- 0.25% FS
满量程偏差：< +/- 0.25% FS
逆转电压保护：有
规格说明
量程：Min()2KPa ～ Max()250MPa
介质接口：316L不锈钢，M20x1.5接口或根据用户要求定制
电路连接：电缆(Φ6mm)屏蔽电缆
外壳：316L不锈钢
尺寸
电路连接 - 只限电缆
输出 0 - 5V, 1 - 5V, 0 - 10V,4 - 20mA
红色 电源（+） 电源（+）
黑色 电源（-） 输出信号（+）
绿色 输出信号（-）
白色
现场应用
两线制现场压力测量示意图
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应用范围
防爆型压力变送器经过精密的温度补偿、全不锈钢结构和完善的装配工艺，使产品具有高精度、高抗干扰、过载和冲击能力强、防潮性和长期稳定性好等特点，可适用于各种恶劣环境和腐蚀性介质。标准信号输出，抗干扰能力强，适用于远距离传输。备有多种介质接口供客户选配。该变送器可广泛应用于冶金、电力、石油、化工、医药、食品、轻纺、水利、地质等领域对腐蚀性气体、液体、蒸汽的表压、绝压、负压的测量和控制。
25°C 的性能
精度：± 0.5%, ± 0.25% FS（精度包括:非线性、迟滞和重复性）
稳定性(一年)：± 0.2% FS
压力限制：2 倍标称压力
破坏压力：10 倍标称压力
压力循环：> 100 万满压循环
环境因数
温度
工作/贮存温度：-20 ～ 85°C
温补资料
温度补偿：0 ～85°C
补偿后零点误差：< +/- 0.2% FS
补偿后满量程误差：< +/- 0.2% FS
其它
冲击：20G , 11msec , 1/2 sine
震动：10G peak , 20 到 2400 Hz
防护等级： ExdIICT6 IP - 65;66;67
电路参数
供电电源：9-36VDC
输出信号：三线制 0 - 5V, 1 - 5V, 0 - 10V , 二线制 4 - 20mA
零点偏差：< +/- 0.25% FS
满量程偏差：< +/- 0.25% FS
逆转电压保护：有
规格说明
量程：Min()2KPa ～ Max()250MPa
介质接口：316L不锈钢，M20x1.5接口或根据用户要求定制
电路连接：电缆(Φ6mm)屏蔽电缆
外壳：316L不锈钢
尺寸
电路连接 - 只限电缆
输出 0 - 5V, 1 - 5V, 0 - 10V,4 - 20mA
红色 电源（+） 电源（+）
黑色 电源（-） 输出信号（+）
绿色 输出信号（-）
白色
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溅射薄膜压力传感器的优势
众所周知，压力敏感元件是压力传感器（变送器）的关键功能元件。压力能以各种方法测量，但关键的基本原理归结为两类：
1．惠斯登电桥
配置于弹性膜片上的电桥电阻，在压力作用下发生形变，有的被拉伸，有的则被压缩。电阻尺寸的变化引起电阻值的变化。因此电桥产生差动输出信号，其值正比于施加的压力。惠斯登电桥可由金属电阻或压阻材料构成，压阻电桥由于晶格掺杂效应以及机械变形，能提供较大输出信号。金属电阻可采用多种技术将电桥固定于膜片之上。诸如粘接，硅/陶瓷融合，直接分子键合。
2．电容式
测量两片导电板的电容值，在压力作用下，导电板被迫挤合，使电容值随压力的变化而变化。电容式压力传感元件采用MEMS技术由陶瓷构成，或将金属嵌入半导体层中。传感元件固定（融合）于金属/玻璃密封体或装入充油腔中。所有的压阻和硅技术都存在因掺杂物质迁移和费米能级效应而引起漂移倾向。这些影响随着温度的升高而增大。密封和充油隔离腔体由于热膨胀系数不同而引起不希望有的热稳定性问题。在工作温区内的温度非线性是一个大问题，工作温区的高端和低端因此受到限制。并且存在充油腔漏油的潜在可能，这也是不希望有的。金属电阻的粘接或硅/陶瓷融合。无可避免的从原理上存在不稳定现象。英国Senstronics（胜思特）公司的压力敏感元件采用溅射工艺，在压力介质直接作用的17-4PH不锈钢膜片上，以分子键合的方式制作出“微米”级的电阻膜。再经过微电子工艺制作出需要的惠斯登电桥，组成全金属型敏感元件，无任何粘贴剂和活动件，无需密封腔和充油腔，因此具有适用恶劣环境和长期稳定性工作的特点。
溅射薄膜压力敏感元件
n 长期稳定
n 具有温度内补偿
n 具有压力和温度一体化双输出
n 信号线性化
n 小型化(芯片直径7mm)
薄膜压力敏感元件结构：焊接型（W）：通过焊接（激光，电子束，微束等离子，微束亚弧焊）方式实现压力敏感元件与引压接头的连接。
结构图：
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焊接型（W）
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内孔尺寸: 5~20bar 4.5mm 35~2200bar 3.5mm
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敏感元件:
 
引线示意图
惠斯登电桥示意图：
引线方式：1、3为供电激励源（1：地，3：电源+）
2、4为信号输出端
（1、5之间为测温电阻，作为内补偿电阻）
焊点材料：镍:使用超声压焊
技术参数：
压力量程（bar）：5, 7, 10, 16, 20, 35, 70, 100, 160, 250, 400, 700,1000, 1600, 1800, 2200
允许过负载（% FS）：200% （破坏压力：10倍满量程压力）
热零点漂移（%FS℃）：小于0.005
热灵敏度漂移（%FS℃）：小于0.005
长期稳定性（%FS/年）：小于+0.1
工作温度范围（℃）：-70℃~200℃（特殊要求从-100℃~300℃）
桥臂电阻（KΩ）：3.2+ 0.2
绝缘电阻（MΩ）：大于500
频率响应 ：大于10KHZ
灵敏度（mV/V）及非线性
量程（bar） 5 7 10 16 20 35
灵敏度（mV/V）0.99±0.25 1.27±0.25 1.21±0.2 1.24±0.2 1.30±0.2 1.67±0.2
非线性 0.4 0.35 0.2 0.15 0.15 0.15
量程（bar） 70 100 160 250 400 700
灵敏度（mV/V）1.81±0.2 2.26±0.3 1.98±0.3 2.19±0.3 2.13±0.2 2.26±0.2
非线性 0.15 0.15 0.15 0.15 0.10 0.10
量程（bar） 1000 1600 1800 2200
灵敏度（mV/V）1.33±0.25 1.40±0.25 1.08±0.2 1.30±0.2
非线性 0.05 0.05 0.05 0.05
溅射薄膜压力传感器
薄膜压力传感器利用溅射合金薄膜压力敏感元件结合先进的加工工艺技术制作而成。
压力介质直接作用的17-4PH不锈钢膜片上制作了组成惠斯登电桥的合金薄膜应变单元，该合金材料以分子形式在弹性体上淀积成薄膜应变电阻，薄膜电阻与弹性体以分子键合“融”为一体，可长期在-40℃~+150℃工作温度下稳定工作。生产过程中传感器经过了严格的高、低温循环，经过了两千次的疲劳处理。产品具有准确度高，工作温度范围宽，温漂小，高稳定，高可靠，抗振动，抗冲击，抗辐射的工作特点。使用激光焊（电子束焊等）。将溅射薄膜压力敏感元件与不锈钢压力接头焊为一体，成为封装型敏感元件。结构件材料为17-4PH不锈钢，能在各种恶劣环境下长期稳定的工作。
技术参数：
技术指标
量程（bar）：见敏感元件参数表
输出灵敏度（mＶ／Ｖ）：见敏感元件参数表
准确度（％ＦＳ）：0.05; 0.1; 0.2; 0.5;
激励电压（ＶＤＣ）：0~20
允许过压（％ＦＳ）：200
零点温度漂移（％ＦＳ℃）：小于±0.005
热灵敏度温度漂移（％ＦＳ℃）：小于±0.005
长期稳定性（％ＦＳ年）：小于±０.１
工作温度范围（℃）：-40～150
绝缘电阻（ＭΩ）：大于５００
可配套提供：
放大电路 （4~20mA, 0~5V, 0~10V, 0.5~4.5V）连接插针
溅射薄膜压力变送器
溅射薄膜压力变送器是由溅射薄膜压力传感器和高性能的信号调节电路ASIC组成。ASIC系列经特别设计，以限度的发挥薄膜传感技术的潜能，并满足我们客户有远见的需求。这方面包括模拟输出（典型：0—5V；0—10V；0.5—4.5V；4—20mA）数字化等。变送器系列在设计上考虑到满足严格的电磁兼容条件。作为一项标准，全部产品都严格按照EN61000-6-2和EN61000-6-3标准经受至少100V/m的考验。具有集成开关功能：在液压控制系统的应用中，需要带有电子开关功能的压力信号。这种功能可在我们的ASIC电路板中使用比较器来提供。
  
技术参数：
1．ASIC系列。
名称 SEN-1000
应用需求 工业 汽车
输出1（压力）电压；电流0—5V；0—10V；0.5—4.5V；4—20mA 0.25—4.75V 0.5—4.5V
输出2（温度/压力开关）0—5V；0—10V；1—6V；0.5—4.5V；
输出形式 模拟量 模拟量
时钟频率 内部RC震荡器2MHZ 内部RC震荡器2MHZ
输入电源 电压8—30VDC 5V+10%
过压保护 30V 16V
反压保护 -30V -16V
存储（通过输出1插针连通输出1信号） OTP OTP
线性化 3点
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压力敏感元件采用溅射工艺，在压力介质直接作用的17-4PH不锈钢膜片上，以分子键合的方式制作出“微米”级的电阻膜。再经过微电子工艺制作出需要的惠斯登电桥，组成全金属型敏感元件，无任何粘贴剂和活动件，无需密封腔和充油腔，因此具有适用恶劣环境和长期稳定性工作的特点。该压力传感器是专门为油田测井、试井和压力仪表设计的高性能压力传感器，产品在高温状态下长期稳定工作，抗振动，耐冲击，防潮。是油田恶劣环境下的理想产品。
应用范围
适用于油田测井、试井、数字压力表、内燃机、压缩机、试验机等高温高压、恶劣环境场合的压力测量。
25°C 的性能
精度：± 0.1% FS（精度包括:非线性、迟滞和重复性）
稳定性：(一年)± 0.1% FS
压力限制：２ 倍标称压力
破坏压力：10 倍标称压力
压力循环：> 100 万满压循环
环境因数
温度
工作/贮存温度：-40 ~ 150°C
零点温度漂移：小于0.005%FS/℃
灵敏度温度漂移：小于0.005%FS/℃
其它
冲击：20G , 11msec , 1/2 sine
震动：10G peak , 20 到 2400 Hz
防护等级IP - 67
电路参数
供应电源：四线制 １～２0VDC
输出信号：1mV/V～2.6mV/V(根据量程变化)
零点偏差：< 0.5mv
电桥输入阻抗：3～4KΩ
电桥输出阻抗：2.8～3.8 KΩ
规格说明
量程：Min()1MPa Max()220MPa
机械接口：316L不锈钢，M10x1接口,或根据用户要求定制
电路连接：连接线(Φ0.4mm)
外壳：316L不锈钢
尺寸
电路连接 - 只限电缆
输出 1mV/V～2.6mV/V(根据量程变化)
红色 电源（+）
黄色 电源（-）
蓝色 输出信号（+）
白色 输出信号（-）
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压力敏感元件采用溅射工艺，在压力介质直接作用的17-4PH不锈钢膜片上，以分子键合的方式制作出“微米”级的电阻膜。再经过微电子工艺制作出需要的惠斯登电桥，组成全金属型敏感元件，无任何粘贴剂和活动件，无需密封腔和充油腔，因此具有适用恶劣环境和长期稳定性工作的特点。
应用范围
装载机，工程机械等专用压力传感器。诚邀OEM合作伙伴。
25°C 的性能
精度：± 0.1% FS（精度包括:非线性、迟滞和重复性）
稳定性(一年)：± 0.1% FS
压力限制：2 倍标称压力
破坏压力：10 倍标称压力
压力循环：> 100 万满压循环
环境因数
温度
工作/贮存温度：-40 ～ 150°C
零点温度漂移：小于0.005%FS/℃
灵敏度温度漂移：小于0.005%FS/℃
其它
冲击：20G , 11msec , 1/2 sine
震动：10G peak , 20 到 2400 Hz
电路参数
供应电源：四线制 10VDC
输出信号：1mV/V～2.6mV/V(根据量程变化)
零点偏差：< 0.5mv
电桥输入阻抗：3～4KΩ
电桥输出阻抗：2.8～3.8 KΩ
规格说明
量程：Min()1MPa Max()220MPa
介质接口：316L不锈钢，M20x1.5接口或根据用户要求定制
电路连接：连接线(Φ0.4mm)
外壳：316L不锈钢
尺寸
电路连接 - 只限电缆
输出 1mV/V～2.6mV/V(根据量程变化)
红色 电源（+）
黄色 电源（-）
蓝色 输出信号（+）
白色 输出信号（-）
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