微米定位平台概述

　　NM-Z-15H是一个集成了电容传感器的微米平台（压电扫描扫描柔性引导平台）。这个平台有一个中空的芯，是用来在中间放微小的样品或光纤。它的特点是作为一个参考面可以集成NM-XY-100A来实现三维位置控制。

　　NM-Z-15H有一个可选的纤维夹头。它的特点是作为一个参考面可以集成NM-XY-100A来实现三维位置控制。

　　微米定位平台主要特点

　　◆>15微米运动范围，高于微米级分辨率；

　　◆振荡频率>1.8K；

　　◆0.005%磁滞、线性度；

　　◆高带宽(>300Hz)响应时间短；

　　◆现场扫描化；

　　◆高稳定性；

　　◆特殊钢材外壳；

　　微米定位平台应用领域

　　◆扫描探针显微镜；

　　◆干涉测量；

　　◆精密工程；

　　微米定位平台相关性能说明：

企业名：深圳市真尚有科技有限公司

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