SMT9700埃米级高性能电涡流位移传感器

   SMT是一款专门为客户定制的OEM产品，可测非导磁体和铁磁材料，有1、2或3通道可配电涡流探头。拥有埃米级分辨率，符合CE和RoHS标准，尺寸小巧，并可配13种电涡流探头。同时材料、线性、分辨率、带宽各种性能可自行优化。

应用前景

密封圈是指由一个或几个零件组成的环形罩，固定在轴承的一个套圈或垫圈上并与另一套圈或垫圈接触或形成窄的迷宫间隙，防止润滑油漏出及外物侵入。动静环密封圈包括了一个动环和静环，用于旋转运动的密封。当旋转轴转动时，由于外力的作用，动环和静环之间会出现间隙，形成刚度很高的气膜，气膜的大小影响了密封的效果。

 

测量方案

采用真尚有科技的SMT9700电涡流传感器，将探头安装在静环上，当接通传感器系统电源时，在前置器内会产生一个高频电流信号，该信号通过电缆送到探头的头部，在头部周围产生交变磁场。如果在磁场的范围内没有金属导体材料接近，则发射到这一范围内的能量都会全部释放；反之，如果有金属导体材料接近探头头部，则交变磁场将在导体的表面产生电涡流场，该电涡流场也会产生一个方向与相反的交变磁场。由于反作用，就会改变探头头部线圈高频电流的幅度和相位，即改变了线圈的有效阻抗。根据线圈阻抗的变化，就可以得出动环相对于静环的位移，即可以测出动环与静环之间气膜的厚度。

 

应用领域

   光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、原子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。

 

主要特点

◆尺寸小巧

◆埃米级分辨率

◆有1、2或3通道可配电涡流探头

◆可配13种电涡流探头

◆工作温度：0～70ºC(补偿范围15～55ºC)

◆符合CE和RoHS标准

◆输出负载电流<20mA(有短路和过载保护)

◆供电电压：15～30V，<50mA(有容错保护、短路保护)

 

企业名：深圳市真尚有科技有限公司

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