1.   特点与应用

与厚膜混合集成电路相比较，薄膜电路的特点是所制作的元件尺寸较小。但是所用工艺设备比较昂贵、生产成本较高。

薄膜混合集成电路适用于各种电路，*是要求精度高、稳定性能好的模拟电路。与其他集成电路相比，它更适合于微波电路。

2.主要工艺

薄膜混合集成电路所用基片有多种，*常用的是玻璃基片,其次是微晶玻璃和被釉陶瓷基片,有时也用蓝宝石和单晶硅基片。为了实现紧密组装和自动化生产，一般使用标准基片。

在基片上形成薄膜有多种方法。制造薄膜网路常用物理汽相淀积(PVD)法,有时还用阳*氧化或电镀法。在物理汽相淀积法中，*常用的是蒸发工艺和溅射工艺。这两种工艺都是在真空室中进行的，所以统称为真空成膜法。用这两种方法，可以制造无源网路中的无源元件、互连线、*缘膜和保护膜。阳*氧化法可以形成介质膜，并能调整电阻膜的阻值。在制造分布参数微波混合集成电路时，用电镀法增加薄膜微带线的厚度，以减少功耗。

3、公司设备

   磁控溅射镀膜机、*电铸机、光罩曝光机、干法蚀刻机、湿法蚀刻机、准分子激光微加工系统，千级*车间。

4、服务内容

   定制加工陶瓷薄膜线路板

   合作开发陶瓷薄膜线路板

企业名：深圳市昊光机电应用科技有限公司

类型：

电话： 0755-26985163

联系人：毕小妮

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