品牌:美国MKS 型号:903系列真空规及传感器 种类:压力 材料:金属 材料物理性质:半导体 制作工艺:薄膜 输出信号:数字 *护等级:优 线性度:好(%F.S.) 重复性:好(%F.S.) 灵敏度:高 漂移:较低 分辨率:高
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MKS903系列倒磁控管/冷阴*真空传感器具有以下显著特点:
1、量程范围从5×10-3Torr至3×10-10Torr.
2、*适合于高真空中环境,包括对高真空反应腔室的压力测量和控制,或由继电器设点来启动高真空系统,成为*真空应用的理想传感器.
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