SDY-4型四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法*标准并参考美国 A.S.T.M标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)测试*仪器。仪器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。可满足半导体材料、器件的研究生产单位对材料(棒材、片材)电阻率及扩散层、异型外延层、离子注入层和导电薄膜的方块电阻测量的需要。 SDY-5型双电测四探针测试仪采用了四探针双位组合测量新技术，将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上，利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。仪器*适用于测量片状半导体材料电阻率以及硅扩散层、离子注入层、异型外延层等半导体器件和液晶片导电膜、电热膜等簿层(膜)的方块电阻。 技术指标: * 测量范围：电阻率：0.001—200Ω.cm(可扩展)； 方块电阻：0.01—2000Ω／口(可扩展)；

企业名：广州半导体材料研究所

类型：生产加工

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