一、       产品用途

本机主要适用8英寸以下硅片双面精密研磨加工，同时适用于光学玻璃，石英晶片，宝石片，铌酸锂，陶瓷片及其他硬脆材料的双面研磨加工或抛光。

二、       产品优点

1.    *变频器配合变频电机拖动，实现了软启动，软停止，调速稳定，冲击小。

2.    采用二电机同步拖动，可选择游星轮的变速范围更广，能适应不同的研磨材料及研磨工艺的要求。

3.    单独电机抬升内齿圈，并在总行程范围内随意停留自锁，满足了取放工件及调整游星轮啮合位置的要求。太阳轮高度调节*调节太阳轮座上的三组不锈钢片的厚度，十分方便。

4.    齿圈座和下磨盘座，采用了国内*的*腐技术，进行了*腐处理，大大*了使用寿命。

5.    采用PLC控制，压力采用电—气比例阀与拉力传感器实现了闭环反馈控制，压力过程实现了线形转换。主气缸采用精密无摩擦力气缸，整个控制系统经精密调节，实现上磨盘*小总压力稳定在50Kg。这样大大*了薄形工件的加工精度及合格率。

6.    应用人机界面（PT）显示与PLC控制，一方面显示运行参数，另一方面通过其他触摸键调整设定各项参数，主操作由普通键钮完成。

7.    采用自动润滑装置，用户可根据自己的使用情况，设定自动润滑时间，机器的各相对运动表面，齿轮啮合部位得到充分润滑，大大*了整机的使用寿命。

8.    研磨机配置了*的测厚装置，工件加工的动态情况通过（PT）显示器*可见。

9.    抛光机配置*抛光液存储器，可根据用户的加工工艺要求，调节抛光液的温度。

三、       主要技术参数

1.    上磨盘尺寸：Φ1355mm×Φ458mm×50mm

2.    下磨盘尺寸：Φ1355mm×Φ458mm×50mm

3.    磨盘转速：0~60rpm

4.    *轮参数：公制m=3，Z=170，α=20°

5.    *轮数量：5个

6.    *小研磨厚度：0.5/Φ200mm，0.4/Φ150mm

7.    *大研磨厚度：30mm

8.    *大研磨直径：Φ410mm

9.    主电机：18KW   4级   AC380V

10.太阳轮电机：1.5KW   4级   AC380V

11.内齿圈升降电机：1.5KW   4级   AC380V

12.气源：0.5~0.7Mpa

13.外型尺寸：2600×1850×3000mm

14.机器重量：~7000Kg

15.沙泵电机：0.4KW   AC380V

16.设备表面颜色：白色

四、       主机精度

1.    下研磨盘端面跳动：<0.08mm

2.    研磨盘平面度：<0.02mm（修正轮修研后）

3.    太阳轮径向跳动：<0.10mm

4.    内齿圈径向跳动：<0.18mm

五、       加工精度（修正轮修研后）

1.    一致性：≤0.008mm

2.    平面度：≤0.005mm

3.    平行度：≤0.006mm

六、       加工能力

1.    单片承片量：6片/Φ150  2片/Φ200 

2.    整盘承片量：30片/Φ150 10片/Φ200 

七、       设备关键部件选用要求

1.    气动元件：日本SMC

2.    主减速机：浙江杭州

3.    主要轴承：日本NSK

4.    变频器：德国西门子

5.    可编程控制器（PLC）：德国西门子

6.    可编程人机界面（PT）：德国西门子

7.    拉力传感器：上海

8.    电器开关、按钮：德国西门子

企业名：宁波迪柯玛精工机械有限公司

类型：生产企业

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联系人：汤传梁

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