品牌:利德 型号:*-100P 测量范围:局部检测 测量:在380mm距离下中心的稳定紫外强度达1000µW/cm² 尺寸:180*160*156(mm) 重量:1.1(kg) *-100P*度紫外线灯*-100P*度紫外线灯的特...
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据日经BP社报道,日本USHIO电机开发出了可发出波长为193nm单色光的准分子紫外灯(ExcimerLamp)。该成果为全球首创。无需使用昂贵的激光器即可用于ArF液浸光刻(Lithography)所需要的保护膜、材料。2008年9月开始面向研发