型号

显微系统

VK-X260K

VK-X160K

VK-X130K

控制器

VK-X250K

VK-X150K

VK-X120K

综合倍率

28000 倍以下^*1

19200 倍以下^*1

视野 (观察范围)

11 μm 至 5400 μm

16 μm 至 5400 μm

帧频率

激光测量速度

4 至120 Hz、7900 Hz^*2

测量原理

光学系统

针孔共聚焦光学系统

光接收元件

光电倍增器、16 bit 感应

扫描方式 (常规测量时及图像连接时)

自动上下限设置功能 高速光量化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足补充功能(双扫描)

高度测量

显示分辨率

0.5 nm

5 nm

线性标尺

动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度)

16 bit

重复精度σ

20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm^*3

20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm^*3

Z轴测量用内存

1400 万步骤

140 万步骤

准确性

0.2+L/100μm或更小(L=测量长度)^*4

Z 载物台结构

结构

测量头分离结构

样品高度

28 mm, 128 mm (可选件)

宽度测量

显示分辨率

1 nm

10 nm

重复精度3σ

20 倍 100 nm、50 倍 40 nm、150 倍 20 nm^*3

20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm^*3

XY 载物台结构

手动 运行范围

70 mm×70 mm

电动 运行范围

50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm^*5

观察

观察图像

超高精细彩色CCD 图像
16 bit 激光彩色共焦点图像
共焦点+ ND 滤波器光学系统
C- 激光微分干涉图像

拍摄分析率

3072×2304

测量用激光光源

波长

紫激光 408 nm

红色半导体激光 658 nm

输出

0.95 mW

激光产品

2 类激光产品 (GB7247.1)

重量

显微系统

约26 kg(分离时测量头单体: 约10 kg)

约25 kg(分离时测量头单体: 约8.5 kg)

控制器

约 11 kg