SMT9700电涡流传感器应用于硅片生产

目标

硅晶片上的膜是通过化学气相沉积（CVD）生成的。怎样确保在晶片上形成均匀的化学层沉积呢？

解决方案

SMT-9700

化学沉淀反应开始之前，用KAMAN电涡流传感器确保半导体晶片圆盘是平行于气体分散喷头（参见图1）。当然该传感器是用于校验过的，量程在半导体晶片圆盘位置限定之内。

KAMAN系统提供模拟输出或可选的数字信号接口。如果半导体晶片圆盘是倾斜的，致动器会根据KAMAN系统输出的信号自动调整到水平。

结果：

使用KAMAN电涡流传感器SMT-9700的4大理由

1直接测量

连接到半导体晶片圆盘的弹簧浮动板传感器环允许直接测量该喷头的位置。

2.非接触式

使用涡流技术中，每个传感器都可以非接触的测量被测物

3.分辨率高

KAMAN电涡流传感器SMT9700系统可以感知一纳米的位置变化。

4.系统的通用性。

KAMAN电涡流传感器SMT9700系统提供种类齐全的探头以供选择。

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美国KAMAN二十世纪末起，随着工业自动化方面的迅速发展，KAMAN作为传感器和测量仪器的主要供应商，在不断开发制造更新、更可靠的产品，以满足各制造行业的需求。除高品质的产品外，KAMAN还提供全方位的服务，从解决应用问题、技术销售支持到对用户的要求做出快速反应。KAMAN传感器一直致力于支持广大用户，并协助他们成为其行业中的佼佼者。同时KAMAN专注于感应电涡流技术，电涡流传感器。其传感器提供非接触式测量，被测体线性位置或位移的测量结果输出为模拟电压，在某些情况下，电流传感器表面与被检测的目标之间的距离成正比，另外，电涡流技术要求被测物是导电的。

KAMAN有众多的传感器，基于其核心技术。一些传感器是通用的，如KAMAN KD-2446，KAMAN KD-2306，和KAMAN KDM-8206。一些高性能传感器，适合特定的应用程序，如SMT的9700。一些传感器的设计与特定的应用或考虑环境，像ThreadChecker和极端环境传感器。KAMAN可以定制客户的传感器，以满足应用的要求，KAMAN有经验丰富的应用工程师们随时准备协助客户为任何应用工作人员选择正确的传感器。产品通用的行业包括：汽车、能源、金属冶炼、金属加工、纸浆和造纸、塑料及橡胶、半导体资本设备。

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