美国KAMAN高精度SMT9700电涡流传感器在半导体晶片膜厚度控制中的应用

硅晶片上的膜是通过化学气相沉积（CVD）生成的。怎样确保在晶片上形成均匀的化学层沉积呢？

解决方案

SMT-9700

化学沉淀反应开始之前，用KAMAN电涡流传感器确保半导体晶片圆盘是平行于气体分散喷头（参见图1）。当然该传感器是用于校验过的，量程在半导体晶片圆盘位置限定之内。

KAMAN系统提供模拟输出或可选的数字信号接口。如果半导体晶片圆盘是倾斜的，致动器会根据KAMAN系统输出的信号自动调整到水平。

结果：能得到一致并且均匀的沉积薄膜。

使用KAMAN电涡流传感器SMT-9700的4大理由

1直接测量

连接到半导体晶片圆盘的弹簧浮动板传感器环允许直接测量该喷头的位置。

2.非接触式

使用涡流技术中，每个传感器都可以非接触的测量被测物

3.分辨率高

KAMAN电涡流传感器SMT9700系统可以感知一纳米的位置变化。

4.系统的通用性。

KAMAN电涡流传感器SMT9700系统提供种类齐全的探头以供选择。

  SMT9700电涡流传感器尺寸小巧

   埃米级分辨率

有1、2或3通道可配电涡流探头

可配13种电涡流探头

工作温度：0～70oC(补偿范围15～55oC)

符合CE和RoHS标准

输出负载电流<20mA(有短路和过载保护)

供电电压：15～30V，<50mA(有容错保护、短路保护)

KAMAN专注高精度电涡流传感器几十年，工艺成熟，产品性价比高。所以成都洪胜科技科技强力为您推荐KAMAN高精度电涡流传感器，种类齐全，包括螺纹检测电涡流传感器、转速测量电涡流传感器、测位移量（厚度、振动、高度、高度、形变等）电涡流传感器、耐高温高压高辐射等极限环境的电涡流传感器、方便测量转子定子间隙的电涡流传感器等多种优质电涡流传感器，分辨率的电涡流传感器可达埃米级别，可根据客户要求定制。

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