深圳展芯科技SP系列探针台

型号/规格：
SP系列
品牌/商标：
PRCBE
载物台尺寸：
6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"
载物台平整度：
≤±2.5μm

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仪器/仪表(10)
∟ 检测仪器(10)

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商品信息

SP系列探针台-亚微米级FA探针台

产品应用：

DC、RF、mmW测试

纳米级电子器件测试，微机电测试

高功率测试

产品特点：

SP 系列是专为亚微米级分析测试而研发的探针台，包含6/8/12英寸三个不同型号，可应用于I-V/C-V测试、RF测试、mmW（毫米波/微波）测试、T-Hz测试、失效分析、晶圆或器件的特性测量、MEMS（微机电）等等的分析测试中。

SP 系列低重心的结构设计，确保了台体在高精度测试下的稳定性。载物台移动基座采用高精度丝杆传动，配合高精度交叉滚柱导轨和直线导轨进行导向，实现了载物台亚微米级的空间定位精度；同时，一体化的探针座放置平台，配合高刚性的支撑机构，整体的垂直应力形变在5μm/10N以内，保证了测试探针的稳定性。显微镜的龙门支架及同轴移动基座，让显微镜定位操作更加快速方便，同时还保持了超高的稳定性，为亚微米级的空间定位精度提供了稳定的光学支持。

SP系列结构设计紧凑，如显微镜的同轴调节机构，载物台的真空驱动开关及快速拖出功能等，有效地提高了用户的操作效率。载物台Z轴细调行程为13mm，配合平台板Z轴行程45mm，使SP系列可适用于更多不同的测试配置和样片，满足更多的分析应用需求。

技术指标

载物台(常规晶圆载物台）
尺寸	6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"
材质	不锈钢
平整度	≤±2.5μm
真空区域*	0，2"，4"，6"环形吸附**
真空控制	手动控制，独立真空区域
真空驱动方式	真空泵
载物台电性能	载物台信号导通，可选择接地或接信号
根据载物台尺寸有所不同，如载物台尺寸为12"，则真空吸附区域为0，2"，4"，6"，8"，12"。 * 除环形吸附外，还可选微孔吸附式载物台，以适用于厚度在50μm或以内的晶圆。

载物台移动基座
X-Y轴行程范围*	6"6"(152.4mm152.4mm)，可选更大行程
精度	1μm
R轴粗调角度范围	360°
R轴细调角度范围	±9°
微调精度	0.0001°/deg
Z轴细调行程范围	13mm
细调精度	1μm
Z轴快升行程	0~6mm, 可调
Z轴往复精度	<1μm
根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则X-Y移动行程为12"12"。

探针座放置平台
材质	钢，表面沉镍处理
平台板尺寸*	可放置8个CM50或4个RF50探针座
平台板至载物台高度	1.496”(38mm) （该参数待定）
探针座兼容性	可兼容磁力或真空吸附底座的探针座
Z轴细调行程范围	45mm
Z轴快升行程	350μm （该参数待定）
Z轴往复精度	<1μm
*此处为6"探针台可放置的探针座数量，更大尺寸探针台详询客服人员。
显微镜移动基座
X-Y轴行程范围	2"2"(50mm 50mm)
X-Y轴精度	1μm
调焦行程	2"(50mm)
精度	1μm
Z轴粗调行程	100mm
气动升降行程	40mm

光学系统
类型	金相显微镜，可选单筒显微镜
光学放大倍数*	20X-2000X
* 根据所选物镜或显微镜放大倍数不同会有不同的光学放大倍数，详细请咨询客服人员。

加热载物台(可选项）
尺寸	6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"
温度范围	室温~300℃
温控精度*	0.5℃（典型值）
温度均匀性	0.5℃@6"载物台
加热时间	<6min（室温~300℃）
标准配置的加热台为自然冷却，可选风冷或水冷套件。
RF载物台(可选项）
尺寸	6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"
校准片载物台	2个（独立真空控制）
尺寸	配套CS-5等尺寸的校准片
校准片载物台角度调节范围	7°
材质	不锈钢
平整度	≤±2.5μm
真空驱动方式	真空泵

其它扩展配件(可选项）
探针卡夹具	可根据探针卡尺寸定制，应用于多点或自动测试
激光器	1064nm，532nm，355nm，三个波段自由配置，对芯片线路进行切割修改。
半自动控制系统	实现晶圆小批量半自动测试需求