测量范围非常广，从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压） 10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性 皮拉尼联锁保护贝阿德-阿尔珀特系统在高压操作下单丝过早烧毁和过度污染 使用寿命长的氧化钇铱丝 备有可选的图形显示屏和现场总线接口 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预 RoHS 合规 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制 典型应用 对半导体过程和传输腔室的压力测量 工业镀膜 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制 规格 类型 BPG400 测量范围（空气、O2、CO、N2） mbar Torr -10 … 1000 " selected="selected" value="mbar" style="font-size:14px;"> -10 … 750" value="Torr" style="font-size:14px;">5×10-10 … 1000 精度 10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15 可重复性 10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5 除气 (1) p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min 压力， bar (absolute) 2 温度 运行（环境） °C 0 … +50 贮存 °C -20 … +70 在法兰处烘烤，有延伸件 °C 150 在法兰处烘烤，无延伸件 °C 80 移除烘烤电子设备 °C 150 电源电压 V (dc) A (dc) +20 … +28 输出信号模拟 输出信号 V 0 … +10 测量范围 V +0.774 … +10 电压与压强 volts per decade 0.75 错误信号 V 0.3 / 0.5 负载电阻 kΩ 10 接口（数字）(2) RS232C 电气连接 D-Sub, 15-pin, male 电缆长度， (3) m (ft.) 100 (330) 暴露于真空的材料 2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass" selected="selected" value="" style="font-size:14px;">Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass 内部容积 KF / CF cm3 (in.3) 24 (1.46) / 34 (2.1) 重量 KF / CF g 285 / 550 保护等级 IP30 Profibus DP 波特率 kBaud Mbaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information 模拟功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B 设定点继电器： 设定点数量 2 设定点继电器： 范围 mbar -9 … 100" selected="selected" value="mbar" style="font-size:14px;">1×10-9 … 100 设定点继电器： 继电器触点 n.o., potential free 设定点继电器： 滞后 % of reading 10 设定点继电器： 触点额定值 V (dc) A (dc) 60 Profibus DP 连接器 D-Sub, 9-pin, female BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 D-Sub, 15-pin, male DeviceNet™ 协议 DeviceNet™, group 2 slave only 数据率开关 kBaud 125, 250, 500 or network programmable 电缆长度 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 电缆长度 250 kbps m (ft.) 250 (825) 电缆长度 500 kbps m (ft.) 100 (330) MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information 模拟功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B 技术规格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" 设备类型 ''CG'' for combination gauge I / O 从属传讯 polling only 设定点继电器： 设定点数量 2 设定点继电器： 范围 mbar -9 … 100" selected="selected" value="mbar" style="font-size:14px;">1×10-9 … 100 设定点继电器： 继电器触点 n.o., potential free 设定点继电器： 滞后 % of reading 10 设定点继电器： 触点额定值 V (dc) A (dc) 60 DeviceNet™ 电源电压 V (dc) A (dc) +11 … +25 真空计电源电压 V (dc) A (dc) +20 … +28 DeviceNet™ 连接器 Microstyle, 5-pin BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 D-Sub, 15-pin, male 1) 除气期间降低精度 2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列，不允许使用现场总线 3) 适用于 RS232C 运行 <30m BPG400 零件号 明细 BPG400规管 353-500 BPG400 规管 353-500-11 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF 353-500-I0 BPG400规管 354-498 Spare electronic BPG400 without Display 354-499 Spare electronic BPG400 with Display 353-501 BPG400 规管 353-502 BPG400 规管 353-503 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R 353-505 复合真空规 353-506 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R 353-507 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF 353-508 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R 附件 BPG400 零件号 明细 353-510 100 mm sensor extension tube 353-511 BPG400 24V电源 353-512 Baffle for BPG400 211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF 备件 BPG400 零件号 明细 354-490 BPG400 备用传感器 354-491 BPG400 备用传感器

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