超净MFC 不锈钢隔膜 / 金属O形环 (M 类型)
高度洁净 MFC / SEC-4400SP 广泛范围 MFC / SEC-4400SR
自由安装方向 MFC / SEC-4400MF, 4500MF 应用气体 : C2F6, C3F8, C4F8, SF6, SiF8等。
规格 
SEC-4400 
接液部材质 M 类型 : SUS-316L, R 类型 : SUS-316L, 氟化橡胶 
阀门类型 : 非通电时开与关 
流量范围: 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/5 SLM 
流量控制范围 : 2 - 100% F.S. 性 : ±1.0% F.S. 
SEC-4500 
接液部材质 : SUS-316L, R 类型 : SUS-316L, 氟化橡胶 
阀门类型 : 非通电时开与关 
流量范围 : 10 SLM/20 SLM 
流量控制范围 : 2 - 100% F.S. 性 : ±1.0% F.S. 
SEC-4550 
接液部材质 : M 类型 : SUS-316L, R 类型 : SUS-316L, 氟化橡胶 
阀门类型: 非通电时开与关 
流量范围 : 30/50 SLM 流量控制范围 : 2 - 100% F.S. 
性 : ±1.0% F.S. 
SEC-4600 
接液部材质 : M 类型 : SUS-316L, R 类型 : SUS-316L, 氟化橡胶 
阀门类型 : 非通电时开与关 
流量范围: 50/100 SLM 流量控制范围: 2 - 100% F.S. 
性 : ±1.0% F.S. 
SEC-4400MF 
接液部材质: M 类型 : SUS-316L 阀门类型: 非通电时开与关 
流量范围 : 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/5 SLM 
流量控制范围 : 2 - 100% F.S. 性 : ±1.0% F.S. 
SEC-4500MF 
接液部材质: M 类型 : SUS-316L 
阀门类型 : 非通电时开与关 
流量范围 : 10/20 SLM 流量控制范围: 2 - 100% F.S. 性 : ±1.0% F.S. 
SEC-4400SP 

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