流量计大氮SEC-E50，N2，20SLPM；

流量计 硅烷 SEC-E40，SiH4，5SLPM；

流量计 氨气 SEC-E440J，NH3,7SLPM 或 500SCCM；

恒温水槽 Yamato BV100S;

循环泵 CP08-PPRE-10；

程序板 VS4 等。

技术规格型号SEC- (质量流量控制器)SEC-E40、SEC-E40MK3SEC-E50、SEC-E50MK3SEF- (质量流量计)SEF-E40E50适用气体种类*1非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)气体接触部材质SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢阀门型号非通电时　关闭标准流量量程 (N2相应F.S.)10/20/30/50/100/ 200/300/500   SCCM 1/2/3/5/10 SLM20/30 SLM流量控制范围

 (适于SEC系列)2?100% F.S.流量测量范围

 (适于SEF系列)0?100% F.S.响应速度1秒以内(T98)流量精度±1% F.S.直线性±0.5% F.S.反复性±0.2% F.S.工作差压值值

 (适于SEC系列)10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)使用压力

 (适于SEF系列)300kPa(G)以下耐　压1MPa(G)以下外部泄漏率1×10-8Pa?m3/s(He)以下使用环境温度5?50℃(精度的确保：15?35℃)流量设定信号0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.流量输出信号0?5VDC(负荷电阻2kΩ)驱动电源+15VDC ±5% 50mA

-15VDC ±5% 150mA 3VA＋15VDC ±5% 50mA

?15VDC ±5% 200mA 3.9VA标准接头*21/4SWL 类型

*1:关于记载以外的气体种类，请另行咨询协商。

*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。

※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。

※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：值300kPa(G)；SEC-70/80：值350kPa(G)以下。

※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号

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