超纯水管理用 高灵敏度硅表 SLIA-300

在半导体/FPD工艺中，超纯水中的二氧化硅浓度会给产品精度以及原材料利用率带来很大影响。高灵敏度硅表超纯水管理用 高灵敏度硅表 SLIA-300完够达到1μg/L(1ppb)等级的检测要求。在其小巧的台式型机身中可实现在整个检测范围内的高灵敏度检测。连同HORIBA享有好评的一些基本特性，例如高速响应性以及自我诊断功能等，其值得夸耀的表现将灵敏度带入了一个新的等级。SLIA-300为半导体/FPD制造流程中的纯水工艺提供了强有力的支持。超纯水管理用 高灵敏度硅表 SLIA-300特征：●高灵敏度、以及较高的重复性。

利用HORIBA新开发的，独特检测单元，超纯水管理用 高灵敏度硅表 SLIA-300实现了应对低浓度的高灵敏度测量。通过5分钟的高速测量，可保证在0〜2μg/L量程中实现全刻度±2%的重复性。

●小巧设计的台式型。

新开发的检测单元技术，实现了划时代的小巧设计。由于是台式型，所以可以适用于各种各样设置条件等较小空间。也可以作为移动式使用。

●试剂的消耗量可降低80%。

采用改良型检测单元，可以把试剂的消耗量降低到原来的80%。能够大幅地削减试剂的经费成本。

●多可检测6个点。(可选件)

支持多点检测，SLIA-300支持的多点检测。检测点数可以在1和6之间进行任意设定。

SLIA-300

(制造单位：HORIBA Advanced Techno有限公司)

用于超纯水的二氧化硅分析，具有小巧且高灵敏度的新性能。概要在半导体/FPD工艺中，超纯水中的二氧化硅浓度会给产品精度以及原材料利用率带来很大影响。高灵敏度硅表 SLIA-300完够达到1μg/L(1ppb)等级的检测要求。在其小巧的台式型机身中可实现在整个检测范围内的高灵敏度检测。连同HORIBA享有好评的一些基本特性，例如高速响应性以及自我诊断功能等，其值得夸耀的表现将灵敏度带入了一个新的等级。SLIA-300为半导体/FPD制造流程中的纯水工艺提供了强有力的支持。

特点●高灵敏度、以及较高的重复性。

利用HORIBA新开发的，独特检测单元，SLIA-300实现了应对低浓度的高灵敏度测量。通过5分钟的高速测量，可保证在0〜2μg/L量程中实现全刻度±2%的重复性。

●小巧设计的台式型。

新开发的检测单元技术，实现了划时代的小巧设计。由于是台式型，所以可以适用于各种各样设置条件等较小空间。也可以作为移动式使用。

●试剂的消耗量可降低80%。

采用改良型检测单元，可以把试剂的消耗量降低到原来的80%。能够大幅地削减试剂的经费成本。

●多可检测6个点。(可选件)

支持多点检测，SLIA-300支持的多点检测。检测点数可以在1和6之间进行任意设定。

●自我诊断功能检查运行错误。

该功能可对试样水以及试剂的注入、校正、检测单元内温度和光源异常等运行错误进行监测和自我诊断。如果发生错误，就会以报警灯显示，同时通过文字显示输出信息。

●通过自动校正，实现良好维护性。

每次测量之前将自动进行零点校正，除可以确认透过光度以外，还可以修正浊度的影响。

●采用不需要更换的半性光源。

采用光量稳定、 工作寿命长的单色性半导体光源。

超纯水管理用 高灵敏度硅表

SLIA-300

(制造单位：HORIBA Advanced Techno有限公司)

规格原理钼蓝吸光测定法量程0〜2/0〜20μg/L or 0〜5/0〜50μg/L(请于订货时指定)再现性全刻度的±2%测量时间5分钟检测周期5〜995分钟任意设定指示标记・检测值(浓度)：3 1/2位 7段LCD

・状态显示(信息)：16字×4行 点式矩阵LCD检测测量点数1〜6点(请于订货时指定)校正功能标准液校正补正功能空白补正 称量线补正(每条线都是独有的)使用的试剂・试药A：硫酸+钼酸铵

・试药B：草酸

・试药C：L(+)-抗坏血酸更换试剂周期1个星期(本公司推荐的时间)电源100 - 240V AC　50/60 Hz功率约600VA安装条件室内，环境温度：10〜35℃，湿度：85%或更低试料水条件・水 温：15〜35℃

・供给流量：250〜300mL/min(可以调整)

・压 力：0.1〜0.5MPa外形尺寸375(H)×580(W)×500(D) mm重量1个测量点 约41kg(每增加1个测量点数，重量则相应增加1kg)外部输入输出浓度输出・4〜20mA DC/0〜16mA DC/0〜1V DC(请于订货时指定)接点输出・ 每条线相同： 测量中、同步信号、报警信号(批次)、加热器、关闭电源、校正信号1和2、浓度上限报警或切断样品水。 ・每条线不同： 量程、浓度上限报警或切断样品水 (请在订货时指定浓度报警、切断样品水批次或各条线的报警。另外，报警信号内容也要同时进行选择。)接点输入・ 每条线相同： 校正开始、测量开始、经济运转、线的选择、测量低量程、检测高量程串行输入输出RS-232C适合规格CE标记、FCC Part15可选件样品水加热装置、标准液供给装置、试药调配用器具

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类型：经销商

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