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MKS等离子源ASTRON 2L FI20620-1臭氧发生器O3mega AX8561

MKS等离子源ASTRON 2L FI20620-1臭氧发生器O3mega AX8561
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商品信息 更新时间:2026-03-21

MKS ASTeX ASTRON 2L FI20620-1 遥控等离子源 RPS 发生器

MKS臭氧发生器 O3mega AX8561 电子气体与压力控制系统


AX8561臭氧发生器是O3CS臭氧紧凑系统的一部分。这个系统使用6级氧气产生纯臭氧,为半导体行业创造高质量薄膜。臭氧与各种前体气体(如Al2O3,ZrO2,HfO2和La2O3金属氧化物)反应,使薄膜沉积过程如原子层沉积(ALD)和蚀刻(ALE)得以进行。

这个臭氧发生器采用了MKS的臭氧发生器电池技术,结合高纯度湿润材料和远低于其他臭氧发生器所需的掺杂气体水平,产生超清洁、高浓度臭氧,从而提高薄膜的密实度。


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