FI20620-1 AX8561
MKS
230V
195730
企业名:上海闻企电子科技有限公司
类型:经销商
电话: 02151035787
手机:13764678882
联系人:钱先生/纪小姐/江先生/王小姐
邮箱:isd99@163.com
地址:上海上海市黄浦区北京东路668号科技京城3楼A312室
∟ 逻辑IC(1)
MKS ASTeX ASTRON 2L FI20620-1 遥控等离子源 RPS 发生器
MKS臭氧发生器 O3mega AX8561 电子气体与压力控制系统
AX8561臭氧发生器是O3CS臭氧紧凑系统的一部分。这个系统使用6级氧气产生纯臭氧,为半导体行业创造高质量薄膜。臭氧与各种前体气体(如Al2O3,ZrO2,HfO2和La2O3金属氧化物)反应,使薄膜沉积过程如原子层沉积(ALD)和蚀刻(ALE)得以进行。
这个臭氧发生器采用了MKS的臭氧发生器电池技术,结合高纯度湿润材料和远低于其他臭氧发生器所需的掺杂气体水平,产生超清洁、高浓度臭氧,从而提高薄膜的密实度。
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