干泵控制器IH160/1800AC
EDWARDS 爱德华
220V
13860.0
企业名:上海闻企电子科技有限公司
类型:经销商
电话: 02151035787
手机:13764678882
联系人:钱先生/纪小姐/江先生/王小姐
邮箱:isd99@163.com
地址:上海上海市黄浦区北京东路668号科技京城3楼A312室
∟ 逻辑IC(1)
Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议,请与 Edwards 联系。
峰值速度 | 165 m3h-1 |
97 cfm | |
2750 l min-1 | |
极限真空 | 1 x 10-2 mbar |
7.5 x 10-3 Torr | |
1 Pa | |
典型轴封氮流量 | 4 slm |
进气口连接 | ISO63 |
出口连接 | NW40 |
15 psi 压降下典型冷却水流量 | 120 l h-1 |
2 l min-1 | |
重量 | 244 kg |
极限功率输入 | 3.1 kW |
电机额定功率 | 5.0 kW |
油容量 | 0.85 l |
所有数字均为无气镇时的典型值。
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