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EDWARDS 爱德华干泵控制器IH160/1800AC产品编号A53316711

EDWARDS 爱德华干泵控制器IH160/1800AC产品编号A53316711
EDWARDS 爱德华干泵控制器IH160/1800AC产品编号A53316711
金牌会员 第 7
  • 企业名:上海闻企电子科技有限公司

    类型:经销商

    电话: 02151035787

    手机:13764678882

    联系人:钱先生/纪小姐/江先生/王小姐

    QQ: QQ:345952988

    邮箱:isd99@163.com

    地址:上海上海市黄浦区北京东路668号科技京城3楼A312室

产品分类
商品信息

Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
  
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

应用

  • 负载锁
  • 输送
  • 计量
  • 平版印刷
  • PVD 制程
  • PVD 预清洁
  • RTA
  • 剥离/灰化
  • 刻蚀
  • 植入源
  • HDP CVD
  • RTP
  • SACVD
  • MCVD
  • PECVD
  • LPCVD
  • ALD


有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议,请与 Edwards 联系。

功能和优势

  • 优化了设施消耗。
  • 无需预防性维护。
  • 悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
  • 在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
  • 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
  • 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
  • 整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度 165 m3h-1
  97 cfm
  2750 l min-1
极限真空 1 x 10-2 mbar
  7.5 x 10-3 Torr
  1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO63
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 120 l h-1
  2 l min-1
重量 244 kg
极限功率输入 3.1 kW
电机额定功率 5.0 kW
油容量 0.85 l


  
所有数字均为无气镇时的典型值。

联系方式

企业名:上海闻企电子科技有限公司

类型:经销商

电话: 02151035787

手机:13764678882

联系人:钱先生/纪小姐/江先生/王小姐

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