电容位移传感器 超精密电容位移传感器：该传感器是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可以用在两个不同的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。

传感器型号：ZNXB（举例）

小量程μm：20

灵敏度μmV：2

噪音nm rmsHz-1/2：<0.001

温漂nm/K：1

线性度%：<0.08

大量程μm：100

灵敏度μm/V：10

噪音nm rms Hz-1/2：<0.015

温漂nm/K：4.4

线性度%：<0.08

工作温度：+10～+50℃（控制器）；-273～+80℃（探头）

存储温度：0～+70℃

相对湿度：5～95%（无冷凝）

频响Hz：50/500/5000

可调电容位移传感器主要特点

◆量程20～1250μm；

◆分辨率<0.1nm；零磁滞；

◆线性0.02%；

◆频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调；

◆真空兼容选项；

主要特点

◆量程20～1250μm；

◆分辨率<0.1nm；零磁滞；

◆线性0.02%；

◆频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调；

◆真空兼容选项；

双极性电容传感器工作示意图

   

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