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光刻机应变测量 真尚有光刻机应变测量系统

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  • 企业名:深圳市真尚有科技有限公司

    类型:经销商

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商品信息

光刻机应变测量


光刻机中需要检测其结构的形变,这就需要一种高分辨率应变感应,以校正机械装置的纳米振动。

其测量方式如下:在片上非平衡马赫-曾德尔干涉仪(MZI)中即PGR中插入一个与pi位移FBG对准的扫描窄线宽激光器。MZI用作波长跟踪器,可以同时测量光功率;根据该信息,可以生成光谱,并且可以高精/度确定FBG波长。因为扫描激光器是窄线宽激光器,这意味着调制期间的波长噪声很低。但是当我们使用非波长校正算法时,线宽“噪声”会导致白噪声基底。使用PGR可以测量这些微小的偏差,并在应变/温度测量中进行补偿。可以测量高达0.2nε的应变值,可以用应变噪声的功率谱密度表示。



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