低温泵/冷泵 Cryopump

CRYO-PLEX®8型

抽速(升/秒): 空气1500 l/s; 水气4000l/s;  氢气2500 l/s; 氩气1200

通导(scc/min): 氩气

重量（Kg）:20.4

吸气能力（std.liters）：氩气1000 氢气18（5x10-6torr）

转换点（torr.liters）:150

制冷时间（min）：90

泵口法兰：6in.ANSI(外径11in.)  ISO NW200  10in.CF

外形尺寸（mm）：高526

 

CRYO-PLEX®8LP型

抽速(升/秒): 空气1500l/s;  水气4000l/s;  氢气2200l/s;  氩气1200

通导(scc/min): 氩气700

重量（Kg）:19

吸气能力（std.liters）：氩气1000 氢气12（5x10-6torr）

转换点（torr.liters）:150

制冷时间（min）：90

泵口法兰：6in.ANSI(外径11in.)  ISO NW200  10in.CF

外形尺寸（mm）：高179 长574

 

CRYO-PLEX®10型

抽速(升/秒): 空气3000l/s;  水气9000l/s;  氢气5000l/s;  氩气2500

通导(scc/min): 氩气1500

重量（Kg）:38.6

吸气能力（std.liters）：氩气2000 氢气24（5x10-6torr）

转换点（torr.liters）:300

制冷时间（min）：60

泵口法兰：10in.ANSI(外径11in.)  ISO NW320  14in.CF

外形尺寸（mm）：高508

 

CRYO-PLEX®16型

抽速(升/秒): 空气5000l/s;  水气16000l/s;  氢气12000l/s;  氩气4200

通导(scc/min): 氩气500

重量（Kg）:72.6

吸气能力（std.liters）：氩气2500 氢气15（5x10-6torr）

转换点（torr.liters）:300

制冷时间（min）：150

泵口法兰：16in.CVC(外径17.7in.)  ISO NW400 

外形尺寸（mm）：高610

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