非接触位移传感器
STIL Initial:技术参数表
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控制器
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STIL Initial系列
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型号
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STIL Initial 0.4
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STIL Initial E1.2
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STIL Initial E1.2/90(1)
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STIL Initial 4.0
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STIL Initial 12
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光学笔
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型号
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CL2-MG140
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ENDO 1.2
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ENDO 1.2/90(1)
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CL4-MG35
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CL5-MG35
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测量范围
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0.4mm
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1.2mm
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1.2mm
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4.0mm
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12.0mm
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工作距离
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11.0mm
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2.4mm
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0.4mm
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16.4mm
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29mm
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光斑大小
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3.4μm
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15μm
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13μm
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7.2μm
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16.5μm
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倾斜角度(2)(3)
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±28°
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±14°
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±9°
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±21°
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±14°
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重量
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190g
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10g
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10g
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155g
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175g
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规格尺寸：Φ×L
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Φ27㎜×208.9㎜
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Φ6㎜×75.2㎜
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Φ6㎜×82㎜
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Φ27㎜×145.5㎜
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Φ27㎜×145.5㎜
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位移测量
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轴向分辨率(4)
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无平均值
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22nm
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100nm
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160nm
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130nm
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400nm
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有平均值（10）
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8nm
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35nm
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60nm
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50nm
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180nm
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精度(5)
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80nm
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300nm
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800nm
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300nm
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900nm
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测量粗糙的金属样品(9)
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R
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NR
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NR
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NR
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NR
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粗糙度测量(10)
可测量值
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30nm
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NR
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NR
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NR
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NR
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厚度测量(6)
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可测量厚度(7)(8)
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16μm
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75μm
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NA
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110μm
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450μm
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可测量厚度(7)(8)
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510μm
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1600μm
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NA
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5700μm
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16500μm
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控制器
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测量模式
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<位移> 和 <厚度>
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测量速率
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100Hz-2000Hz
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数字量输出
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USB2.0和RS232（到460800波特率）
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数字量的分辨率
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<位移>模式：30bits
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<厚度>模式：15bits
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同步性
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0V-5V输入输出TTL同步信号，带触发功能
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优点
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<双频率>模式
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<LED自动调节>模式
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<高峰>模式
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<保持上个数值>模式
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<厚度校准>
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电源/功率
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100V-240VAC 50-60Hz/25W
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重量
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1920g
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尺寸 W×H×D
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199mm×123.5mm×277mm
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光纤电缆
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(1)径向（90°）测量光学笔。
(2)倾斜角度只适用于镜子似的（像镜子）表面。对于漫反射表面，倾斜角比较高（漫反射角度达87°）。
(3)以100Hz的频率在镜面上测量，不进行平均计算。
(4)轴向分辨率的定义是指以采样速度在中心量程测量静态样品得到的RMS噪声值，不进行平均计算。
(5)精度是指在测量的整个范围内，进行以下几种情况的位移校准时测得的误差值：“LED自动调节”模式，采样速度，倾斜角=0°，平均系数=测量速率/10。
(6)在这种模式下为得到测试性能，建议在一个标准厚度进行校准。
(7)这些值是用于折射率为1.5的情况（测量空气间隙厚度要除以1.5）。
(8)典型值，是指使用中间量程以采样速度测量的值。
(9)R=推荐用于测量粗糙金属样品（这些样品各项性能都能被测量）。
NR=不推荐用于测量粗糙金属样品（这些样品可以测量，但是性能不是很好）。
(10)可测量的精度值取决于样品的规格参数。上表所例的数值是典型值。
注意：数据如有改动，恕不另行通知。
