ASM340 德国普发PFEIFFER氦质谱捡漏仪  大抽速检漏仪

 产品对比参数:

brand type	Varian VS	Leybold XL 300i	Pfeiffer ASM 340
pic
backing pump (m3/h)	11.6	2.5	15
turbo speed (l/s)	1.8	2.5	2.5 (Pfeiffer turbo)
min.leak ratevac.test(mabrl/s)	1.E-12	5.E-12	5.E-12
min.leak ratesni.test(mabrl/s)	1.E-08	1.E-07	5.E-09
inlet pressure(mbar)	13.3	15	25

 

解释: backing pump(m3/h) ,  这是分子泵的前级泵, 抽速越大越好, 响应时间会更快.

        turbo speed(l/s), 这是分子泵抽速参数, 越大越快

        min.leak rate vac.test(mabrl/s),  在真空测试的模式下, 的泄露率, 数字越小越好

        min.leak rate sni.test(mabrl/s), 在吸枪测试的模式下, 的泄露率, 数字越小越好

        inlet pressure(mbar), 进气测试压力要求,  数字越大越好

         (Pfeiffer turbo), Pfeiffer是分子泵的发明者

       我们从上表可以看出, 德国Pfeiffer的ASM340性能上还是的.

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