SM5652-001D-3S 压力传感器

SM5652激励电压源为10.00V DC，室温25℃，除非另有规定。

             zui小值   典型值   zui大值

单位激励源

激励电压源 DC（SM5652） 0        10.00       20.00 V

激励电流源 DC（SM5651） 0         1.50         3.00 mA

SM5651满量程输出             25.0        45.0        75.0 mV

SM5652满量程输出             24.5          25.0        25.5 mV

零点输出                             -2.00         +0.20      2.00 mV

满量程温度系数                -0.65          +0.20       0.65 %FS

零点温度系数                   -1.00           +0.20       1.00 %FS

温度迟滞性                       -0.30          +0.05        0.30 %FS

准确度 线性度（非线性误差-0.30   +0.05        +0.30 %FS

重复性                                -0.30         +0.05        +0.30 %FS

压力迟滞性                       -0.30         +0.05       +0.30 %FS

灵敏度匹配性                     -2.0            -0.2        +2.0 %FS

（SM5651） 输入阻抗     1.80        3.00        3.80 kΩ

输出阻抗                               2.70        3.30       3.80 kΩ

（SM5652） 输入阻抗      4.50        8.00         25.00 kΩ

输出阻抗                              2.00         2.50        3.80 kΩ

温度范围 补偿温度 +0 ~+60 ℃

工作温度 -40 ~+125 ℃

存储温度 -40 ~+125 ℃

动力特性 耐压 10ⅹ Rated FS

爆破压力 15ⅹ Rated FS

备注：

1、正压指的是从晶圆底部进入；增益，在工厂校准使用的是负压

2、对于SM5652,量程为0.15psi的满量程输出是23.75mV(zui小)至26.25（zui大）

3、测量温度超过22~58℃ 对于量程为0.15psi，满量程温度系数为±2%FS；零点温度系数为±2%FS；对于量程为0.3psi，满量程温度系数为±0.75%FS

4、对于量程为0.3psi，迟滞性为±0.45%FS；对于量程为0.15psi，迟滞性为±0.65%FS

5、zui佳直线拟合，是从晶圆顶部测量的 对于量程为0.3psi，线性度为±0.5%FS；对于量程为0.15psi，线性度为±2.5%FS

6、灵敏度匹配指的是部分与部分匹配的程度，对于量程为0.15psi，灵敏度匹配性为5.0%FS

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