FS5002L-A-100-EV-A流量传感器

• FS5002L: 系列名称 (FS=Flow Sensor，5000 系列改进型，L=Low flow)
• A: 标准型 (带温度补偿)
• 100: 满量程流量值 (100 sccm，标准立方厘米 / 分钟)
• EV: 输出类型 (I?C %2B 模拟电压复合输出)
• A: 封装类型 (标准型)
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FS5002L-A-100-EV-A流量传感器技术参数

 测量性能

 电气特性

 物理规格

1. 传感器内部集成微机电热式流量芯片，包含加热元件和温度感应元件
2. 当气体流过传感器时，会带走热量，导致温度场分布变化
3. 通过测量上下游温度差与流量的关系，计算出气体质量流量
4. 内置微处理器对温度、压力进行补偿，确保高精度测量

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