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多晶硅过程气体分析系统

供应多晶硅过程气体分析系统
供应多晶硅过程气体分析系统
  • 型号/规格:

    SXM-2100型

  • 品牌/商标:

    SXM

普通会员
  • 企业名:上海升贤仪器有限公司

    类型:生产企业

    电话: 021-31001850

    手机:13661894436

    联系人:杨先生

    QQ: QQ:2206048453

    邮箱:shsx17@163.com

    地址:上海上海市中春路8889弄120支弄11号901室

商品信息 更新时间:2014-04-30

 

多晶硅过程气体分析系统SXM-2100

SXM-2100系统可连续监测工业硅提纯的三氯氢硅氢还原工艺中氢气的微氧含量和微水含量以及在尾气管道保护气氮气的氧含量和微水含量,从而保证提炼超纯硅的品质。

  

 系统特点:

l    取样系统为可插拔式探头,方便更换滤芯

l    过滤器可过粉尘和硅粉,过滤精度为0.3μ

l    大屏幕现场就地显示

l    系统留有分析仪标定口,无须拆卸分析仪

l    采用进口陶瓷阻抗式露点分析仪

技术参数:

l 系统部件:316L不锈钢

l 模拟:4-20ma输出

l 响应时间:T90<20S

l 防护等级:IP65

l 电源:24VDC

l 防爆标准:符合EEx ia IIC T4

l 工作温度:-20ºC to 60ºC

l 微水分析仪:

       测量范围:-100 to +20ºC

           精度:+20~-60°C露点范围内为±1 °C

                 -60~-100°C露点范围内为±2 °C

         工作压力: 真空~40 MPa

         计量单位:PPM(w),

         防爆标准:非现场显示型符合EEx ia IIC T4

                   现场显示型符合Exd[ia] IIC T6

l 氧含量分析仪:

         测量范围:0/10/100PPM  1/10/25%

             精度:<1%FS  

         计量单位:PPM(w),%

         大气压力影响:大气压力影响:每变化1毫米汞柱读数变化±0.13%

         防爆标准: NEC/CEC Class ,,,Division 1
                    GroupsA,B,C,D,E,F,G;
                    CENELEC Eex ia
c T4(60)BASEEFA Ceet.Nos.
                    Ex96D2442 and Ex 96D2444
应用业绩:

江西赛维ldk太阳能高科技有限公司

江苏中能硅业科技发展有限公司、

亚洲硅业(青海)有限公司

江苏顺大光伏科技有限公司、

联系方式

企业名:上海升贤仪器有限公司

类型:生产企业

电话: 021-31001850

手机:13661894436

联系人:杨先生

QQ: QQ:2206048453

邮箱:shsx17@163.com

地址:上海上海市中春路8889弄120支弄11号901室

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