美国Silicon Microstructures INC.开发了一系列价位低、线性度在0.3%到0.05%范围内的硅微结构压阻式传感器，满量程为0.15psi(1KPa)、0.3psi(2KPa)、0.8psi(5KPa)、1.5psi(10KPa)、3 psi(20KPa)、满量程为0.15psi(1KPa)，被列为超低压力测量范围。 美国SMI公司的硅微结构压力传感器件和传感器晶圆；产品广泛应用于汽车制造、医疗设备和工业生产：如胎压检测、引擎控制、呼吸机、麻醉机、监护仪、氧气瓶、风速计、血压计、空调系统等相关产品。 SM5852为硅微结构OEM压力传感器，结合了先进的COMS数字信号处理技术及先进的压力传感器加工技术生产的具有放大、充分校准、多阶压力修正和温度补偿双列直插式封装的高性能压力传感器。使用先进的硅微结构压力传感器，并集成信号调节ASIC技术，大大的简化了高性能压力传感器的使用。 SM5852高性能压力传感器可以直接安装在标准的PCB板上，经过放大、高性、校准过的压力信号可以通过数字接口或者模拟输出。这可以省去额外的电路，例如补偿电路或者自定义的微控制器校准电路。 SM5852压力传感器基于SMI高稳定性安装在陶瓷基板上的压阻式压力芯片，一个可编程ASIC逻辑器件提供了校准和温度补偿。 特点 放大、校准和温度补偿高输出跨度（0.5V至4.5V信号） 数字温度和校准压力可通过I2C接口 输出电压与输入电压成比例 双列直插式封装易于使用 多阶压力、温度非线性修正（工厂编程） 多级满量程温度系数和零点温度系数校准（工厂编程） 表压、差压和绝压高性能传感器 应用 气压测量 医疗器械 气动控制 气体流量 呼吸器和通风设备 暖气、通风及空调 性能参数 所有参数在室温25℃，5V直流恒压源供电的条件下测量而得，除非另外规定。 绝压、表压和正差压 差压 小值 典型值 值 小值 典型值 值 单位 零点输出（绝压和表压） 0.42 0.50 0.58 V 零点输出（差压） 2.42 2.50 2.58 V 满量程输出0.15psi满量程输出 3.92 4.00 4.08 1.96 2.00 2.04 V FS 3.80 4.00 4.20 1.90 2.00 2.10 V FS 线性度 0.15psi 线性度 -0.5 +0.5 -0.5 +0.5 %FS -2.5 +2.5 -2.5 +2.5 %FS 压力迟滞性 58125852 -0.1 +0.1 -0.1 +0.1 %FS -0.3 +0.3 -0.3 +0.3 %FS 零点温度系数0.15psi温度系数 -1.0 +1.0 -1.0 +1.0 %FS -2.5 +2.5 -2.5 +2.5 %FS 满量程温度系数0.15psi满量程温度系数 -1.0 +1.0 -1.0 +1.0 %FS -2.0 +2.0 -2.0 +2.0 %FS 热迟滞性 -0.1 +0.1 -0.1 +0.1 %FS 响应时间 2 2 ms 供电电压 4.75 5.00 5.25 4.75 5.00 5.25 V 耗电电流 10 10 mA 过压 5852 3X 3X %FS 15X 15X %FS 工作温度 -40 25 +125 -40 25 +125 ℃ 补偿温度 0 25 +70 0 25 +70 ℃ 存储温度 -55 25 +135 -55 25 +135 ℃ 备注： 只有SM5812系列才有绝压类型压力类型S（PressureType-S）有两个接气端口，用于高增益正差压输 出与输入电压成正比满量程是指零压力与额定压力之差，差压可以使用±FS。绝压和表压零点输出标准值为0.5V，满量程输出为4.5V，跨度有别于满量程 输出和零点输出。对于差压压力传感器而言，负压力的满量程输出标准值为0.5V，零点输出标准值为2.5V；正压力满量程输出标准值为4.5V ±2.0 V跨度输出低于额定压力（低于0）时饱和放大器输出约为0.25V，高于额定满量程压力时饱和放大器输出约为4.75V一个100nF的滤波电容必须放置 于地与供电脚之间所测介质必须是清洁、干燥并与材质兼容，材质包括高硼硅玻璃、硅、氧化铝陶瓷、环氧、RTV电子硅胶、黄金、铝和镍 SM5852为硅微结构OEM压力传感器，结合了先进的COMS数字信号处理技术及 先进的压力传感器加工技术生产的具有放大、充分校准、多阶压力修正和温 度补偿双列直插式封装的高性能压力传感器。 使用先进的硅微结构压力传感器，并集成信号调节ASIC技术，大大的简化了 高性能压力传感器的使用。SM5852高性能压力传感器可以直接安装在标准的PCB 板上，经过放大、高性、校准过的压力信号可以通过数字接口或者模拟输 出。这可以省去额外的电路，例如补偿电路或者自定义的微控制器校准电路。 SM5852压力传感器基于SMI高稳定性安装在陶瓷基板上的压阻式压力芯片，一个 可编程ASIC逻辑器件提供了校准和温度补偿。 特点： 放大、校准和温度补偿高输出跨度（0.5V至4.5V信号） 数字温度和校准压力可通过I2C接口 输出电压与输入电压成比例 双列直插式封装易于使用多阶压力、温度非线性修正（工厂编程） 多级满量程温度系数和零点温度系数校准（工厂编程） 表压、差压和绝压高性能传感器 应用: 气压测量 医疗器械 气动控制 气体流量 呼吸器和通风设备 暖气、通风及空调 1、医疗设备 呼吸机、麻醉机和监护仪 2、HVAC（空调） 3、水平监测 4、流量测量 5、工业控制 6、微差压变送器 7、泄漏仪、泄漏检测 8、差压变送器 9、压力校验仪 10、大气采样器 11、气相色谱仪、液相色谱仪 12、风压机 13、印染、纺织设备 14、风洞试验 15、臭氧分析仪 16、高铁产品 美国SMI公司生产的高精度线性压力传感器SM58系列压力传感器结合了美国 先进的压力传感器技术与CMOS数字信号处理技术生产出具有信号放大、校准和 温度补偿的压力传感器。多级压力非线性修正，校准电压输出为0.5V~4.5V；校 准压力信号和数字温度可通过I2C接口；直接输出经放大校准的模拟信号。SM58 系列有表压、差压和绝压配置，有微压和低高压等量程，其中的微差压、低压 力传感器在市场中独树一帜，是呼吸机中压力传感器的选择。 SM5852具有以下型号： SM5852-001-D-3-LR SM5852-001-S-3-LR SM5852-003-D-3-LR SM5852-003-S-3-LR SM5852-015-G-3-LR SM5852C-004-D-3SR 操作说明 信号处理框架图如下，外部压力传感器是压阻式电桥，这种压阻式桥梁将压力信号转变成电信号，然后输入到集成的ASIC放大器中。 在压力信号放大的同时加入校准因子，以便于给定的压力获得的增益，同时减小偏移误差。信号放大后经过11位模数转换器（ADC），经过多次采样后的总和做为13位信号的样本。 一个数字信号处理器DSP用于修正和校准压力信号，通过工厂编程系数，DSP提供了多阶压力和温度非线性校准。综合共有20个系数用于校准压力和温度的非线性，独特的系数确保在工厂生产中校准。工厂校准是后一步完成的，这意味着该程序包对封装的影响也将予以考虑，这比传统的激光微调方法具有很大优势。 DSP输出一个校准过的数字压力信号，然后输入一个12位数模转换器(DAC)，为其提供校准模拟输出。除了模拟输出，校准过的数字压力信号可通过一个I2C数字接口。 如何通过I2C数字接口读取校准过的数字压力信号，请参考SMI应用笔记AN05-001中的详细介绍。 SM852具有以下型号： SM5852-001-D-3-LR SM5852-001-S-3-LR SM5852-003-D-3-LR SM5852-003-S-3-LR SM5852-015-G-3-LR SM5852C-004-D-3SR

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