Model1221/1210单轴MEMS加速度计

单轴MEMS加速度计简介：

Model 单轴MEMS加速度计是低功耗、低噪音、低成本的集成加速度计。加速度计内部包含了微机械电容传感单元、温度传感器、传感运放电路和差分输出电路，所有部件密封在一个迷你包装中。MEMS加速度计有L（QFN）和J（PLCC）两种封装形式。

单轴MEMS加速度计特点：

密封电容、微机械化、氮化、防潮功能低噪音、内部温度传感、±4V差分输出、全校准功能.

单轴MEMS加速度计性能参数：

性能（按型号分）

型号

1221x-002

1221x-005

1221x-010

1221x-025

1221x-050

1221x-100

1221x-200

1221x-400

单位

输入范围

± 2

± 5

± 10

± 25

± 50

± 100

± 200

± 400

g

频响 (正常, 3 dB)

0 - 400

0 - 600

0 - 1000

0 - 1500

0 - 2000

0 - 2500

0 - 3500

0 - 4000

Hz

灵敏度(微分) ¹

2000

800

400

160

80

40

20

10

mV/G

输出噪音(微分, RMS, 典型)

5

7

10

25

50

100

200

400

ug/

(√Hz)

最大机械冲击(0.1 ms)

2000

g

型号

1210x-005

1210x-010

1210x-025

1210x-050

1210x-100

1210x-200

1210x-200

单位

输入范围

± 5

± 10

± 25

± 50

± 100

± 200

± 400

g

频响 (正常, 3 dB)

0 - 400

0 - 600

0 - 1000

0 - 1500

0 - 2000

0 - 2500

0 - 3500

Hz

灵敏度 (微分) ¹

800

400

160

80

40

20

10

mV/G

输出噪音 (微分, RMS, 典型)

32

63

158

316

632

1265

2530

ug/

(√Hz)

最大机械冲击(0.1 ms)

2000

g

1221

1210

参数

典型值

典型值

单位

横轴灵敏度

2

2

%

漂移校正误差²

-002

2

2

% of Span

-005 thru -200

1

1

温度漂移
(T_C= -55 to +125°C) ²

-002

100

100

(ppm of Span)/°C

-005 thru -200

50

50

比例因子校准误差^{2, 3}

1

1

%

比例因子温度漂移(T_C= -55 to +125°C) ²

±250

+300

ppm/°C

非线性
(-90 to +90 of Full Scale)

-002 thru -050

0.3

0.5

% of Span

-100 & -200

0.5

-400

1.0

供电衰减比

25

25

dB

输出阻抗

90

90

Ohms

工作电压

4.75～5.25

4.75～5.25

Volts

工作电流 (I_DD + I_VR) ²

8

7

mA

重量: 'L' 封装('J' 封装加 0.06 g)

0.62

0.62

g

单轴MEMS加速度计附图展示：

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倾角传感器

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石英挠性加速度计

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氟化氢HF
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可燃气体
环氧乙烷ETO
甲醛CH2O
空气质量
乙烯C2H4
卤素
一氧化氮NO
二氧化氯CLO2
溴气BR2
硫醇TBM
砷化氢ASH3
四氢噻吩C4H4S
甲烷CH4
四氟乙烯R134a
氯化氢HCL
丁烷C4H10
乙烷C2H6
沼气
磷化氢PH3
乙醚C4H10O
氟利昂R22
二氧化硫SO2
硅烷SIH4
联氨N2H4
丙炔C3H4
丙烷C3H8
氰化氢HCN
一氧化碳CO
硫化氢H2S
氩气Ar
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电化学O3传感器
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食物蒸汽
水蒸气

水质传感器
砷浓度
浊度
溶解氧
镁浓度
铁浓度
镍浓度
铝浓度
银浓度
锌浓度
铅浓度
铜浓度
凯氏氮
硒浓度
亚硝酸盐（氮）
高锰酸盐指数
五日生化需氧量
全盐量
电导率
硫化物
悬浮物
总硬度
矿化度
PH值
总渣数
总汞
生化需氧量
水温
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邻二甲苯
对二甲苯
乙苯
甲苯
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氰化物
总氰化物
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性能（按型号分）
型号	1221x-002	1221x-005			1221x-010			1221x-025		1221x-050			1221x-100			1221x-200	1221x-400			单位
输入范围	± 2	± 5			± 10			± 25		± 50			± 100			± 200	± 400			g
频响 (正常, 3 dB)	0 - 400	0 - 600			0 - 1000			0 - 1500		0 - 2000			0 - 2500			0 - 3500	0 - 4000			Hz
灵敏度(微分) ¹	2000	800			400			160		80			40			20	10			mV/G
输出噪音(微分, RMS, 典型)	5	7			10			25		50			100			200	400			ug/ (√Hz)
最大机械冲击(0.1 ms)	2000																			g
型号	1210x-005		1210x-010				1210x-025		1210x-050			1210x-100			1210x-200				1210x-200		单位
输入范围	± 5		± 10				± 25		± 50			± 100			± 200				± 400		g
频响 (正常, 3 dB)	0 - 400		0 - 600				0 - 1000		0 - 1500			0 - 2000			0 - 2500				0 - 3500		Hz
灵敏度 (微分) ¹	800		400				160		80			40			20				10		mV/G
输出噪音 (微分, RMS, 典型)	32		63				158		316			632			1265				2530		ug/ (√Hz)
最大机械冲击(0.1 ms)	2000																			g
											*1221*			*1210*
参数											典型值			典型值				单位
横轴灵敏度											2			2				%
漂移校正误差²				-002							2			2				% of Span
				-005 thru -200							1			1
温度漂移 (T_C= -55 to +125°C) ²				-002							100			100				(ppm of Span)/°C
				-005 thru -200							50			50
比例因子校准误差^{2, 3}											1			1				%
比例因子温度漂移(T_C= -55 to +125°C) ²											±250			+300				ppm/°C
非线性 (-90 to +90 of Full Scale)						-002 thru -050					0.3			0.5				% of Span
						-100 & -200					0.5
						-400					1.0
供电衰减比											25			25				dB
输出阻抗											90			90				Ohms
工作电压											4.75～5.25			4.75～5.25				Volts
工作电流 (I_DD + I_VR) ²											8			7				mA
重量: 'L' 封装('J' 封装加 0.06 g)											0.62			0.62				g

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