蚀刻/开发/清洗全套系统 （EDC-100系列）

•单晶圆蚀刻旋转涂覆机;

•天然聚丙烯NPP材质或特富龙材质 ;

•与镀膜相对应，本系统专为蚀刻，开发及清洗过程而设计；

•针对许多混合水试剂的应用提供的解决方案；

•可以和650控制器，SPIN3000软件配套使用

EDC 系统

这是一种灵活，*和实惠的研发工具，EDC 系列常被 应用在以溶剂和水为基础的处理过程：蚀刻-清洗-干燥，开发-冲洗-干燥，以及利用溶剂和水的清洗。其旋转 涂敷机部分，具有多种板载滴胶阀的*孔隙度特富龙流 体路径等特点，干净的E*FE圆顶盖使用户能够实时观 察过程的*运行，记事是每一单步处理过程模式也可以（Laurell *的性能）。

EDC 系统具有可编程阀，它可以使单*器试剂滴胶按 照蚀刻，开发和清洗应用的要求重复进行，如冲洗（通常是去离子水或溶剂），然后干燥（通常是氮气）等* 后的处理步骤。采用此序贯阀门技术的晶圆片和管道在 *干燥的环境中开通和关闭处理过程。隔离和*的 给水器可处在静态的位置还可以盖内调节。本系统还有可选择的动态线性或径向滴胶的特性。虽然在这些过程 中常采用非真空转头，该系统仍然具备真空下压能力。

当边缘控制型或真空型转头附上称底时，门插销、门锁 和电气联锁为此提供多重保护，也包括大容积的废液和 废气排出口。

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