,
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参数
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符号
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值
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单位
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备注
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静态参数
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型号
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NM3110
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NM3220
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NM3330
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尺寸
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288L x 307W x 70H
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mm
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线电压
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90~260
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VAC
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线频率
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45~65
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Hz
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控制器线缆长度
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2~5
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m
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①
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控制接口
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RS232
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②
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命令格式
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单精度浮点数(7位)
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③
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测量格式
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单精度浮点数(7位)
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|
③
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动态参数
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比例因子
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ax1,bx1
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1
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um
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④
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纳米传感器带宽
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5
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KHz
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⑤
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内在传感器噪音
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kxm·nden
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100x10-9
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Hz-1/2
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⑥
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高压放大器输出偏差
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-20~120
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V
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高压放大器带宽
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10
|
KHz
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⑦
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内在高压噪声(RMS)
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0.3
|
mV
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高压放大器电流
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50
|
mA
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⑧
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预热时间
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25
|
Min
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预热温漂
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50
|
nm
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温漂
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低温漂
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200x10-6
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K-1
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⑨
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标准
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70x10-6
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工作温度
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0~40
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℃
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存储温度
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-20~70
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℃
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闭环通道
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1
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3
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6
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⑩
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注意：
①、
低噪音选项的线长只能是2米。
②、
包括标准接口，其他接口也可用。
③、
数字分辨率在大多数情况下优于系统噪音。整数格式也可用。这个是客户可选的；出厂设置是IEEE标准格式。
④、 出厂设置，用户可选。
⑤、
“读位置”命令以5KHz的带宽返回位置信息，“快照”模式以12.5KHz返回位置信息。
⑥、
这个参数是低噪音的选项(-LN)。标准型号的选项是它的三倍。这个数乘以传感器差距的平方和带宽的平方根，然后再除以10pF情况下传感器的差距以达到以米为单位噪音的有效值；那么就是：噪音=kxm·ndens
x G2/d10pF，G是指电容的差距，d10pF是指在10pF电容下的电容差距。
⑦、
在4uF负载下的带宽。在更高负载下的带宽是6.1KHz(6uF),3.7KHz(10uF)。标准平台的电容式4uF。
⑧、
在少于1分钟的短路保护下可以达到100mA，请联系真尚有了解详情。
⑨、
例如，一个定位器的传感器差距是100um并且是-LD选项的温漂是7nm·K-1，那么它仅仅用于控制器，并不包括微动平台热膨胀。
⑩、
如果想要获取6个通道，可以用两个控制器连接在一起。通道可以是开环或者是闭环(用户可选)。
