PEG100
INFICON
企业名:深圳市利方达科技有限公司
类型:经销商
电话: 0755-18620085190
手机:18620085190
联系人:刘先生
邮箱:lmh@leyfond.net
地址:广东深圳南山区科技园中区科苑路24栋东3楼
INFICON PEG100真空潘宁规提供了*的高真空测量。无高真空灯丝。由于等离子点火的钛阴*板和高电压降低,潘宁规也可以应用在阴*溅射镀膜工艺上。
特点:
>测量范围广:5 X 10 -7~1 Pa
>全金属冷阴*陶瓷传感器
>新型几何电*提供了*好的点火性能
>降低等离子点火高电压和钛阴*板污染的危险,即使在氩溅射过程中也一样
>阳*环和钛阴*可清洗,更换容易
>*小磁场强度测量
>LED指示灯电源和等离子点火
>对数模拟输出信号
>Fieldbus总线接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系统的网络通信
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