品牌:国产 产品型号:D07-7K 测量范围:5SCCM～10SLM 测量精度:&plu*n;1％F.S. 工作环境:5～45℃
D07-7K型 气体质量流量控制器 ★*价格比、普通型产品 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★7A型的更新换代型 ★管状分流，使用寿命长 ★用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精 密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制 气配气等行业。
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
技术性能指标
满量程流量范围（N2） 5SCCM～10SLM 控制范围 2～100％F.S. 阀类型（及阀初始状态） 电磁调节阀（常闭） 准确度 &plu*n;1％F.S. 线性 &plu*n;0.5～1％F.S. 重复精度 &plu*n;0.2％F.S. 响应时间 ≤2sec 工作温度范围 5～45℃ 工作压差 0.1～0.5MPa 耐压 3MPa 漏气率 1×10-8atm.cc/sec He 密封材料 氟橡胶、氯丁橡胶 电插头形式 DB15 pin(Female) 接头选择 VCR 1/4”或φ4hose、φ3hose Swagelok 1/4”或φ6、φ3 温度系数 Zero:≤&plu*n;0.1%F.S./℃ Span:≤&plu*n;0.2%F.S./℃ 重量 1.1Kg
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