类型:薄膜测厚仪 品牌:科美 型号:ST4000 测量范围:10纳米 到 35微米（mm）
测量范围 | 10纳米～35微米 |
测量分辨率 | 1nm |
测量速度 | 1～2 sec/site |
平台尺寸 | 200mm×200mm(8”) 300mm×300mm(12”) |
测量样品尺寸 | ≤8”, 12”(可选) |
光斑尺寸 | 40?/20?, 4?(可选) |
测量原理 | 反射计 |
测量方法 | 非接触 |
类 型 | 手动 |
尺 寸 | 500×610×640 mm |
重 量 | 45Kg |
适用温湿度 | 5～35°C, 30～80% RH |
聚 焦 | 同轴粗微及细焦控制 |
照 明 | 12V/100W卤素灯 |
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