品牌:锐品 型号:201/3020/4030/5030 分辨率:0.001（mm） 测量行程:200*100（mm） 放大倍率:18-180X 操作方式:程序控制 测量精度:≤(3 L/200)μm 外形尺寸（长*宽*高）:770×590×1100（mm）
| 仪器型号 | VMS-3020CNC | VMS-4030CNC | VMS-5030CNC | |||||||
| 工 作 台 | 金属台面尺寸(mm) | 506×356 | 606×466 | 700×450 | ||||||
| 玻璃台面尺寸(mm) | 350×280 | 450×350 | 550×350 | |||||||
| 运动行程(mm) | 300×200 | 400×300 | 500×300 | |||||||
| 仪器重量(kg) | 140 | 240 | 290 | |||||||
| 外形尺寸(长X宽X高) (mm) | 770×590×1100 | 950×700×1100 | 970×670×940 | |||||||
| 镜头 | 日本SONY CCD | |||||||||
| X、Y、Z数显解析度 | 1μm | |||||||||
| X、Y坐标示值误差 | ≤(3+L/200)μm | |||||||||
| 电机 |
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| 电源 | AC110V/220V | |||||||||
| 消耗功率 | <100W（不包括电脑） | |||||||||
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