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SWIM1510MS白光干涉仪

供应SWIM1510MS白光干涉仪
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普通会员
商品信息 更新时间:2011-09-16

类型:白光干涉仪 品牌:万濠 型号:SWIM1510MS白光干涉仪 品种:其他干涉仪 测量范围:150mm×100mm 测量分辨率:0.1nm *近工作距离:80mm(mm) 用途:结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪,不需要复杂的光路调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度

白光干涉仪

白光干涉仪的检测应用

结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪,不需要复杂的光路调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400μm之微三维量测,*种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含:

·晶圆(Wafer

·光盘/硬盘(DVD Disk/Haed Disk

·微机电组件(MEMS Components

·平面液晶显示器(LCD

·高密度线路印刷电路板(HDI PCB

·IC封装(IC Package

·以及其他材料分析与组件微表面研究

*精密的干涉条纹解析软件(ImgScan

·系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹。

·垂直高度分辨率可达0.1nm

·*的分析算法则,让您不在苦候量测结果。

·垂直扫描范围的设定轻松又容易。

·10×,20×与50×倍率的物镜可供选择。

·平台XYZ位置数显式显示,使检测标的寻找快速又便利。

·具有手动/自动光强度调整功能以取得*佳的干涉条纹对比。

·具有*的PVSI与*的VSI扫描量测模式供7选择。

·具有*的解析算法则,可处理半透明物体的3D形貌。

·具有自动补点功能。

·可自行设定扫描方向。

*级的3D图形处理与分析软件(PostTopo

·提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析。

·提供自动表面平整化处理功能。

·提供阶*片的软件自校功能。

·深度/高度分析功能,提供线型分析与区域分析等两种方式。

·线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度(roughness)与起伏度(waviness)的量测分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据。

·区域分析方式提供图形分析与统计分析。具有平滑化、锐化与数字滤波等多种二维快速傅利叶转换(FFT)处理功能。

·量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是以Excel文本文件格式输出。

机台规格:

型号

SWIM1510MS

系统配备

显微镜、扫描控制器、移动平台、取像单元、个人计算机

显微镜

单眼显微镜(标准配件)

干涉物镜(选配)

放大率

视野(mm

光学分辨率(μm

10×

0.5

1.12

20×

0.25

0.84

50×

0.1

0.61

影像缩放

1.0×(标准)0.5×(选配)

垂直扫描控制器

扫描范围

100μm400μm,选配)

扫描分辨率

0.1nm

扫描模式

自动

光强度调整

自动/手动

扫描速度

12μm/s(*快)

样品移动平台

X-Y平面移动平台

150mm×100mm,手动(标准配件)

Z轴移动平台

80mm,手动(标准配件)

位置数字显示单元

三轴光学尺与三轴数字显示器(分辨率1μm

偏移调整工作台

手动

取像单元

影像传感器

面型CCD(标准配置)

传感器分辨率

640×480像素(标准配件)

计算机配备

Pentium-computer17LCD Monitor120GB以上硬盘机

分析软件

MS-Windows兼容的数据攫取与分析软件,包含ISO粗糙度/阶高分析,快速傅利叶转换和滤波,多样的2D3D观测视角图,外形分析,图像缩放,标准影像档案格式转换等等。

阶*片(选配)

50nm170nm230nm470nm1800nm

联系方式

企业名:上海舒耀仪器设备有限公司

类型:生产加工

电话: 021-51611348

联系人:陈定学

地址:上海上海市海宁路1399号805室

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