● 紧凑的设计实现*小的占地空间
● 镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能
● 标配158X158mm手动移动载物台(*大可用于200mm晶圆检查)
● 选配长工作距离物镜,*大方便磁头检查
● 采用*静电设计,*大方便磁头检查
● *系统灵*和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准 | OLYMPUS MX51 技术规格 | MX51 光学系统:
UIS (无限远矫正) 光学系统
MX51 显微镜镜体:
Z轴同轴粗微调调焦，载物台行程范围：32mm(从焦面上行2mm和下行30mm)
行程相同：15mm(配合*光照明)
Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1mm(1个单位1μm)
调焦机构张力可调
有调焦上限位机构
MX51 照明系统:
BX-KMA明视场照明器BX-RLA2明视场/暗视场照明器BX-URA2*照明器
MX51 *照明:
明视场MX-TILLK照明灯，配备光纤照明附件
(MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用) |
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