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自动白光干涉仪,显微镜干涉仪

供应自动白光干涉仪,显微镜干涉仪
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普通会员
  • 企业名:深圳智泰精密仪器有限公司

    类型:生产加工

    电话: 0757-81287780

    联系人:田益珠

    地址:广东佛山平洲东方国际机械广场H座4号

商品信息

类型:光学显微镜 品牌:韩国SNU 型号:SIS 2000 仪器放大倍数:40-1000 目镜放大倍数:10 物镜放大倍数: 50 重量:150KG(g) 适用范围:TFT产业2、半导体3、MEMS4、高校科研5、精密加工 装箱数:2

产品介绍
白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术,是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,,为韩国SAMSUNG**指定供应商,LPL友好俱乐部成员,清华大学,台湾大学,*尔大学友好合作伙伴。
产品特点
1、非接触式测量:避免物件受损。
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以*0.1nm。
5、*数字信号处理器:实现测量*需要几秒钟。
6、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、*震、*压。
8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。

技术参数

机型

SIS 2000

工作台

尺寸

350mm×350mm

倾斜度

&plu*n;3°

测量行程

X:200mm Y:200mm

Z轴行程

100mm

运动方式

自动,马达驱动

扫描速度

30μm/sec

垂直分辨率

0.1nm

CCD

黑白CCD640×480像素

物镜安装架

手动5个位移的可定位夹具

镜头选配

镜头:5×、10×、20×、50×

应用领域:1、TFT产业2、半导体3、MEMS4、高校科研5、精密加工

联系方式

企业名:深圳智泰精密仪器有限公司

类型:生产加工

电话: 0757-81287780

联系人:田益珠

地址:广东佛山平洲东方国际机械广场H座4号

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